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TSMC/ Facility Published

結論 參考文獻

❶經由採樣建立台積封測三廠各廢水相關收集槽水質 01. 3-Principles of nanofiltration membrane processes.
Baseline，並依循封測三廠水質污染物特性，主要
02. 材料世界網,“The effect of characteristics of
分為高硬度鹼度、高有機物及高磷酸鹽類等，後續
wastewater on evaporation with energy saving
進行零排處理系統評估。
thermal technologies”,2021.
❷根據廠區處理水量及水質複雜度，零排系統經評估 03. 材料世界網,“The importance of pretreatment for
設計為➀前處理 : 化學混凝 + 樹脂吸附、生物處理； zero liquid discharge of wastewater and recycling
➁膜濃縮 : BWRO+NF；➂熱處理 : 機械蒸汽再壓縮 its solid residual waste”,2021.
+ 結晶罐，經各 Model 模擬除可達廢水零排放要求
04. 材料世界網,“Current Status of Zero Liquid
外，更能將鹽類資源化，達永續循環、資源再利用
Discharge and Waste Recycling for Industrial
等公司目標。
Wastewater”,2020.
❸本次評估設計採 BWRO 預計可達濃縮 8.82 倍，配合
05. 中華民國環境工程學會,「工業廢水分鹽資源化技術評
NF用於初步濃縮，其TDS可從2,836 to 27,644mg/L，
估」,2022。
相較於龍潭友達廠 (TDS=10,000mg/L)，可於入蒸發
前達到更高濃縮倍率，得以減少後續熱處理設備設 06. 工業污染防治第136期65,「節能蒸發技術於廢水零排
置及操作成本及機械式壓縮蒸發器。 放應用」,2016。
07. Journal of Water Process Engineering 103129-
❹根據 Veolia Model 計算出 NF 膜分鹽結果，於後
49,“Zero liquid discharge technology for
續熱處理可產出 NaCl 產量為 1.78ton/day；二價
recovery, reuse, and reclamation of wastewater A
鹽 Na 2 SO 4 ( 純度 98%) 產量為 1.04ton/day，剩雜
critical review”,2022.
鹽共 1.38ton/day，此設計分鹽流程相比龍潭友達
廠傳統零排放設計，預計可減少廢棄污泥量 67.1% 08. Desalination 518-115303,“Pilot-scale treatment
( 減少 14,100NTD/Day 清運成本 )。 of hypersaline coal chemical wastewater with zero
Liquid discharge”,2021.
❺零排放初估整體「操作成本」預計為 121,804
NTD/Day，因新增零排系統可增添益除為減少既有 09. Desalination 482-114387,“Zero liquid discharge
處理費用 ( 污水費 : 49,951NT/Day)，故淨增加操 hybrid membrane process for separation and
作成本為 71,853NTD/Day。 recovery of ions with equivalent and similar
molecular weights”,2020.
經水質採樣建立廠區廢水收集槽 Baseline 及 Model
10. 材料世界網397期,“The Application of Softening
評估結果，規劃分鹽回收流程，相較於龍潭友達設計，
Resin and Membrane Technologies in Zero Liquid
可減少 67.1% 廢棄污泥量。後續拓展 NaCl(98%)&
Discharge System”,2020.
Na 2 SO 4 (98%) 國內再利用市場，可建立出整體廢水永
續循環架構，作為國內半導體產業類廢水處理先驅，
廠務持續聚焦於 SDG 6( 淨水與衛生 )，透過減少污
染、減少廢棄物產生並提高水回收率以改善自然水體
水質，讓廠務廢水處理持續往公司 ESG 目標 - 綠色製
作者介紹
造邁進。

林俊凱 Jun-Kai Lin
現任職於竹科廠務四部水氣化課。
站在巨人的肩膀得以看得比較遠，在友
善環境的路上持續努力。

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