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廠務季刊 Facility Journal 2023

品質把關_化學研磨液原液直供系統強化品質檢驗
Slurry Quality defense_SDS On-type Drum IQC

文│孫聖哲│新竹廠務六部

摘要

摘要 化學研磨供應系統的原液直供型系統對於原物料品
質監控的防禦機制不足，當物料異常時只能在供應
1. 前言
桶槽量測時才能發現，但此時已經供應至機台端造
2. 文獻探討 成線上影響。故本篇對原液直供型系統以現有系統
架構新增原物料桶品質量測機制，當原物料量測異
2.1 原物料供應商品質管理困境
常時可立即處理不影響線上供應品質。實際應用觀
2.2 原物料異常案例1 察長期品質量測圖量測穩定且線上未有異常狀況，
2.3 原物料異常案例2 證實此設計功能是可達到預期作用。此設計也已納
入新廠工程部新廠標準配置。
3. 改善方法
關鍵詞 : 化學研磨液供應系統、原液直供型系統、
3.1 化學研磨液供應系統架構說明
研磨液原物料量測
3.2 原液直供系統原物料量測硬體設計
The Defense function of Slurr y material
3.3 原液直供系統原物料量測軟體邏輯流程
quality check is insufficient for ON type Slurry
3.4 原液直供系統原物料量測異常處理程序 Dispense System(SDS). If slurry is abnormal, it
will be monitored in Supply tank. In that time,
4. 結果與分析
abnormal slurry has impacted production line.
5. 結論 This paper is establishing a slurry material
quality check function in existing design of
參考文獻
SDS. This function will prevent situation about
abnormal slurry impact. The application of
作者介紹
slurry material quality check in ON type SDS
is work and the expected goal is reached. This
function is adopted in SDS standard design.
Keywords : Slurry Dispense System(SDS)、
ON Type、Slurry IQC

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