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VOL.52 廠務季刊 品質把關_化學研磨液原液直供系統強化品質檢驗

改善方法

3.1 化學研磨液供應系統架構說明

化 學 研 磨 液 供 應 系 統 (Slurry Dispense System, 供切換 )，自 F18B 開始已無原液直供型系統，原液
SDS)A-Fu 機基本機型有原液直供型 & 一般混酸型。 直供的研磨液皆以一般混酸型系統改機跳過混酸單元
原液直供型系統 ( 圖4) 只有兩個單元原物料桶單元與 來供應 ( 如圖6 原物料直接補進供應桶槽不經過混酸
供應桶槽單元，原物料桶直接補進供應桶槽供應。供 桶槽 )。原液直供型與混酸型在補酸至供應桶槽前是
應桶槽會持續進行品質量測確保供應品質正常。一般 否進行品質量測有差異，原液直供型未進行品質量測
混酸型系統 ( 圖5) 較原液直供型多一個混酸桶槽單元 會直接補進供應桶槽供應。若原物料品質異常需等到
進行原物料混和。每次混酸完成會進行品質量測，確 供應桶槽量測才會發現，屆時供應品質已異常影響線
保混酸品質正常才可以補進供應桶槽供應。供應桶槽 上。故本文希望在原液直供系統設計一道品質量測機
除混酸品質量測的時間外都持續進行品質量測監控。 制加強系統品質監控。
因化學研磨液經常變更系統需要改機 ( 混酸 / 原液直

圖 4：原液直供型系統

圖 5：一般混酸型系統

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