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VOL.52 廠務季刊 品質把關_化學研磨液原液直供系統強化品質檢驗
2.2 原 物 料 異 常 案 例 1(F18A Slurry 2.3 原物料異常案例 2(F12B Slurry
PL6136A) N3115-001)
2022 年 8 月 F18A Slurry PL6136A 發生原物料廠商 2022 年 3 月 F12B Slurry N3115-001 發生原物料供
製造時誤使用氫氧化鉀來調配化學品的 pH( 原使用硝 應品質異常事件。該物料批號於 2021 年曾使用過，
酸 )，導致該批號品質異常。此批號上到廠務系統使 2022 年 3 月使用時卻發生 pH 異常 ( 圖3)。Slurry
用時，因系統混酸桶槽仍有留底。新混酸完成進行品 N3115-001 為原液直供型，不須經由廠內系統混酸。
質監測雖有品質變化但未到達系統警報設定值，直到 故只能於供應桶槽品質良時發現異常，當時已供應至
第三次混酸時才到達警報數值發出警報提醒 ( 圖1)。 線上，廠務立即通知製程確認線上狀況並著手進行物
此時已有異常物料補進供應桶槽供應影響產線生產 料批號更換作業。事後懷疑為物料因擺放時間較久造
( 圖2)。因一般混酸型系統在混酸桶槽混和完成時會 成品質異常，但實際並不影響線上生產。雖然沒有造
進行品質量測，後續縮小品質量測控制範圍以提前偵 成影響製造品質但此原物料品質異常仍造成線上機台
測到異常及時處理。 停線與人力負擔。
圖 1：F18A Slurry PL6136A 混酸桶槽 EC 異常量測
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