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TSMC/ Facility Published
圖 6：一般混酸型系統改原液直供型系統
3.2 原液直供系統原物料量測硬體設計
目前化學研磨液供應系統品質量測單元只有設計一 單元回流至原物料桶的管路與閥件 ( 圖7)；一般混酸
組，混酸完成與供應桶槽中的物料相同，可共用一組 型改原液直供系統沿用原混酸單元的量測路徑新增原
量測單元。同理，原液直供系統中原物料桶與供應桶 液進入與回流管路 ( 圖8)。以此設計來達到原液直供
槽中的物料也相同，故可共用一組量測單元。在原液 系統的原液量測目的。
直供型系統補酸路徑上新增一條至量測單元再由量測
圖 7：原液直供型系統原物料量測硬體設計
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