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VOL.52 廠務季刊 品質把關_化學研磨液原液直供系統強化品質檢驗

圖 8：一般型系統改原液直供型原物料量測硬體設計

3.3 原液直供系統原物料量測軟體邏輯流程 3.4 原液直供系統原物料量測異常處理程序

化學研磨液供應系統運轉時會有兩桶原物料桶在系統 原物料量測異常時，原物料桶單元停止運作並跳出異
上輪流供應，當使用完一桶後立即切換至另一桶使 常視窗須人員進行處理確認。異常處理選項為：取樣、
用，空桶會立即更換避免供應中斷。因此原物料量測 確認、重新量測、下線。異常處理流程 ( 圖 10)。
軟體邏輯設計於新桶上線時量測，若有異常還有時間
可以進行緊急處理。當新桶上線時會進行原物料循 ❶取樣：系統自動開啟取樣路徑，人員可進行取樣至
環，循環後開始入品質量測階段。原物料進入量測循 實驗室量測確認品質是否真實異常。
環路徑量測，依系統設定的量測時間進行循環，待量
❷確認正常：經人員判斷確認此原物料是可使用的，
測值穩定時讀取量測值確認是否正常。量測邏輯流程
點選確認正常該桶原物料即上線。
如 圖9。
❸重新量測：系統再一次進行原物料桶量測，若量測
正常原物料桶上線；異常則再回到異常視窗。
❹異常下線：確認該桶原物料為異常物料，點選異常
下線會將系統上兩桶原物料桶都下線並進行量測管
路的清洗。量測管路會使用超純水清洗再使用氮氣
吹乾後供應桶槽才會接著進行量測。後續人員須執
行原物料桶單元自動清洗程序將單元中的異常物料
清洗乾淨才可再重新上原物料桶使用。

圖 9：原液直供系統原物料量測軟體邏輯流程

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