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TSMC/ Facility Published

結論

精進上游原物料品質避免影響產線生產一直是公司努
力的目標，也成立相關單位如先進材料精進管理課或
大宗物料強化專案課等加強稽核場維護生產品質。針
對大宗氣體與化學品因影響較大廠務也會在槽車灌充
前每次都進行品質量測避免造成重大影響。在成本與
硬體架構容許的條件下能夠針對原物料進行使用前的
量測是最佳的狀況，本篇利用既有架構與較低的成本
成功達到此目標，加強了化學研磨液原液直供供應系
統較薄弱的防禦機制。此設計已納入新廠工程部新廠
標準配置，未來可由此設計為出發點持續加強其他型
式機型的品質防禦機制。

參考文獻

01. 陳盈全，半導體公司供應商品質管理系統之改善，
2007。
02. Endress + Hauser, Technical Information(Proline
Promass 80F, 83F):Coriolis Mass Flow Measuring
System. The universal and multivariable
flowmeter for liquids and gases.
03. Theory and Application of Conductivity,
Application Data Sheet ADS 43-018/rev.D,
January 2010.

作者介紹

孫聖哲 Orz Sun
國立台灣大學應用力學所畢業。
F12P45 / F12P7 氣化課。站在巨人的肩
膀上可以看得遠，但同時還需要幫助巨
人長高才能看得更遠！

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