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TSMC/ Facility Published
結果與分析
化學研磨液供應系統的混酸桶槽與供應桶槽進行品質
量測時皆是使用磁浮幫浦進行輸送化學研磨液，但
原物料桶量測卻是使用隔膜式幫浦輸送，品質量測時
可能會因流量波動造成量測不穩定。F12P7 L2 CMS-
SB03 SDS 為全台積第一套化學研磨液原物料量測系
統，上線至今已超過四個月，實際應用觀察長期品質
量測圖量測穩定且線上未有異常狀況 ( 圖 11、圖 12、
圖 13)。其中有幾筆導電度與比重量測值較高確認為原
物料桶溫度影響，剛到貨的原物料桶由於低溫運送溫
度較低，上線後會影響到導電度與比重。實際確認待
溫度回到作業環境溫度再次進行量測則回到正常值。
圖 10：原物料量測異常處理流程
圖 11：F12P7 L2 CMS-SB03 導電度量測值
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