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TSMC/ Facility Published
圖 3：F15A 長時間運轉晶體殘留推進式脫水機濾籃
圖 4：外濾籃自清潔設計
而脫水機脫除與清潔的水份 ( 圖5)，其內部皆含有硫
酸銨，因此可將其回收至前處理桶槽中，再進入結晶
罐內部進行蒸發結晶。綜合參考脫水機設備與系統設
計，若要穩定運轉且提升產能，需考量最佳化脫水機
入料顆粒大小，以延長脫水機設備穩定運轉時間，增
加硫酸銨晶體處理產量；最佳化脫水機運行時間，以
利在脫水機設備潔淨度與系統重新蒸發所占處理量之
間取得平衡。
圖 5：硫酸銨晶體脫水與濾籃清潔
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