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TSMC/ Facility Published

圖 12：高濃度廢液修正排放路徑

3.3 結晶顆粒控制與推進式離心脫水機穩定測試

推進式離心脫水機能長時間穩定運轉，為維持產能重 電流提升；增加推進式離心脫水機轉速可降低結晶含
要條件之一。其主要由離心馬達帶動濾籃藉由離心力 水率進而降低設備負荷。本實驗設計藉由控制內循環
進行固料脫水，再由往復馬達帶動推進機構將固料推 泵浦與推進式脫水機轉速進行運轉測試，實驗結果主
進。當設備運轉異常時，馬達運轉電流與設備震動值 要探討：➀內循環泵浦流量與結晶顆粒性質關係；➁
會提升，因此本測試以此作為監控項目。F15A 實際運 推進式離心脫水機轉速與結晶含水率關係；➂結晶顆
轉經驗，濾網內層因運轉時間增加而滯留結晶，導致 粒特性與馬達電流、設備震動值關係。
運轉後期結晶含水率提升，含水率提升亦會增加馬達
運轉負荷，使運轉電流與震動值提升。大顆粒結晶可
保有良好的脫水通道，可降低設備負荷進而減緩運轉

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