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TSMC/ Facility Published

圖 18：脫水機轉速與結晶產品含水率 圖20：脫水機運轉指標與時間(內循環泵浦流量9.5CMH)

4.3.3 結晶顆粒特性與馬達電流、設備震動值關係
利用章 4.3.1 分析結果參數，以不同顆粒分布進行
入料 ( 固定參數為脫水機入料流量：6.3CMH、推進
式離心脫水機運轉轉速：1375rpm)，觀察脫水機馬
達電流與震動值，找尋脫水機運轉最長時間，換取
系統可處理原液時間以提升產能。內循環泵浦流量
8.5CMH，測試結果顯示運轉 210 分鐘後，各項數值
爬升速度逐漸增快，於 270 分鐘便進行推進式離心
脫水機清洗 ( 圖 19)；內循環泵浦流量 9.5CMH，測
試結果顯示運轉 270 分鐘後，僅震動值爬升速度逐
圖21：脫水機運轉指標與時間(內循環泵浦流量10.5CMH)
漸增快，馬達電流則在 300 分鐘有較明顯爬升，於
330 分鐘便進行推進式離心脫水機 ( 圖 20)；內循環
泵浦流量 10.5CMH，測試結果顯示運轉 330 分鐘後，
各項數值爬升速度逐漸增快，於 360 分鐘便進行推
進式離心脫水機清洗 ( 圖 21)。

圖 19：脫水機運轉指標與時間 ( 內循環泵浦流量 8.5CMH)

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