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TSMC/ Facility Published
4.2 相關廢水處理系統測試結果
高濃度廢液依修改後排放路徑排放，流程為先將含高
濃度離子雜質之硫酸銨母液加水稀釋後排入廢液暫存
槽，再以少量多餐模式排入脫氣膜酸循環槽，脫氣膜
酸循環槽為鹼排回收系統 RO 前處理調理槽調整 pH
值使用，後由 RO 濃縮廢液排至氨氮廢水處理系統，
最終利用脫氣膜進行氨氮處理後排放。
由高濃度排放實驗觀察，因高濃度廢液稀釋後仍含有
25~30% 硫酸銨，其氨氮值高達 200,000ppm，少量
圖 15：氨氮廢水處理系統產水氨氮值
多餐排放過程中， RO 前處理調理槽與脫氣膜前處理
槽，桶槽氨氮值皆有上升 ( 表3)。觀察氨氮廢水系統
產水出口氨氮值於高濃廢液排放量 2,500L 時上升約
10~11ppm( 圖 15)，經計算對於放流水氨氮值增加
約 0.6ppm。觀察鹼排回收處理系統，RO 產水導電
度亦受到影響，於高濃廢液排放量 2,500L 時上升約
20us/cm( 圖 16)。
圖 16：鹼排回收處理系統 RO 產水導電度值
表 3：處理系統桶槽氨氮測值
日期 5月24日 5月25日 5月26日 6月27日 6月28日 6月29日
RO前處理調理槽氨氮值(ppm) 435 519 404 625 677 634
脫氣膜前處理槽氨氮值(ppm) 3120 3530 3270 4170 4860 4530
平均每日高濃廢液排放量(L) 0 0 0 2500 2500 2500
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