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分析模組所脫
Items Spec TMAH-R-LCD TMAH-R-IC +
附之濃縮TMA
APPEARANCE － CLEAR CLEAR CLEAR 成份可確認其中
(TMA-OH) wt% 25.00±0.50 24.85 25.18 不純物之分布
(TMA-CO 3 ) wt% ＜0.100 0.052 0.026
CHLORINE wtppm ＜0.5 0.06 0.08 均在回收廠允
SODIUM wtppb ＜10 ＜1 ＜1 收標準之下，回
POTASSIUM wtppb ＜5 ＜1 ＜1
MAGNESIUM wtppb ＜5 ＜1 ＜1 收廠可依此結果
CALCIUM wtppb ＜10 ＜1 1.4 放心回收並進行
IRON wtppb ＜10 ＜1 ＜1
COPPER wtppb ＜5 ＜1 ＜1 相關前處理系統
MANGANESE wtppb ＜5 ＜1 ＜1 之建造。長春於
SILVER wtppb ＜5 ＜1 ＜1
F14P3測試分析
+
Test Date 2009/10/13 2011/05/05 之TMA 成份如
表六、濃縮TMA+成份分析結果 [11] 表六所示。

F14P3 樹脂塔串聯吸附曲線 進流水
14

12
10
樹脂塔出口水質 8 6

4

2 圖十、串聯樹脂塔
出口pH變化 [11]
0
0 5 10 15 20 25 30
Tower I 樹脂塔進流累積處理量
Tower II

F14P3 樹脂塔出口 濃度

8000
7000
樹脂塔出口水質 5000
6000

4000
3000
2000

1000 圖十一、串聯樹脂塔
0 出口TMAH濃度 [11]
0 5 10 15 20 25 30
Tower I 樹脂塔進流累積處理量
Tower II

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL APRIL 2012 13