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Special
Report
特別企劃

圖八、某光電廠TMAH廢液回收測試模組 [11]

0.1-1% TMAH
收品質。某光電廠TMAH廢液回收
測試模組模組照片如圖八所示。
以長春在F14P3模組測試為
例，利用串聯式樹脂塔測試，如
Tower I Tower II 圖 九 所 示 。 模 組 進 流濃 度 約 為
0.762% TMAH，樹脂吸附塔各
塔樹脂量375mL，測試結果圖十

Waster Water 與圖十一所示。當樹脂塔累積進
TMAH＜60űűŮ 流量達10L時，第一塔樹脂即開
圖九、樹脂塔串聯示意圖 [11] 始穿透，持續運轉至樹脂塔累積
進流量達約24L時，第二塔亦開
始穿透，此時第一塔樹脂已完全
另外，經樹脂吸附後之廢水TMAH濃度低於60ppm +
穿透，達樹脂飽和吸附TMA 之目
可視其水質以UF、NF或RO任意組合之方式把水回收使
的，此時正是濃縮脫附在生第一
用，作為樹脂再生用水、冷卻水塔補充水等，將水資源
塔之最佳時機，可得大於10%以
完全充分再利用。 +
上濃度之TMA 。由此亦可得知:
再進行實廠設置之前，回收廠處理商一定會取水做模 由出流水pH值即可簡單並準確地
+
組測試，以確認濃縮脫附之TMA 不純物是否可達預定回 監測樹脂穿透起始點。

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