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參考文獻
● 個案再利用許可申請需由事業與再利用機構共同提
出申請。
[1] 黃誌銘（三福化工），「TMAH
通案再利用
回收再利用技術及設備介紹」，
● 再利用機構需有再利用廢棄物之再利用實績，包含
資源回收再利用技術講習會，科
12個月以上之事業廢棄物收受量、再利用量及暫存
學工業園區管理局(2011)。
量月統計資料。
[2] 長春石化與三福化工所提供之
● 申請前一年內無違反廢棄物清理法（違反前開法令 TMAH物質安全資料表。
第三十一條第一項第二款網路申報規定被告發處分 [3] Keiji Hirano, Junji Okamura,
者，不在此限）。 Tsutomu Taira, Kunio Sano,
Arata Toyoda, and Mitsuaki
● 由再利用機構提出申請。
Ikeda "An Efficient Treatment
Techn ique f o r TMAH
Wastewater by Catalyti c
TMAH-R回收通路 Oxidation", IEEE Transactions on
Semiconductor Manufacturing,
通 常化學品回收處理商即是既有市場之新品化學品 Vol. 14, No. 3, August (2001)。
供應商，如長春、三福等。已擁有多項電子化學
品市場，供給半導體、LCD使用，如TMAH、雙氧水、 [4] Kurita "TMAH回收技術簡介"，
2011。
THINNER、STRIPPER、PM及PMA、ECP、…等。越來 [5] 德山 "Takuyama's Recycling
越多化學品供應商發揮企業社責任主動積極與客戶們一同 Plant Plan"，2008。
解決使用化學品所造成環境上的問題。 [6] 南環字第0960006976號。
如長春長期致力於化學品的回收再利用，從早期的 [7] 新竹、竹南及龍潭園區下水道
THINNER、STRIPPER回收至近年來發展出TMAH回收， 可容納排入水質標準修訂草案
為客戶提供化學品使用上之全方位服務(Total solution)。 （101年1月20日）。
近年來，長春已於IC及LCD進行TMAH-R 模組測試，以既 [8] 環署水字第1000050497號。
有TMAH生產線驗證產出之TMAH-R品質能符合目前所生 [9] 環署水字第0990112348F號。
產規格，並將TMAH-R送交日本原廠TOK做顯影測試，確 [10] Hiroshi Sugawara,Yoshinori
認得到用於LCD製程上與新品有相同顯影效果的評價。 T aj ima an d T adah iro
另外，三福化工亦為提高本國電子工業的競爭性，同 Ohmi "A Study on Reclaim
時大量的降低TMAH對台灣水質和環境的負面影響，民國 Photoresist Developer Using
97年8月即開始「TMAH顯影液回收與生產製程之開發」 an Electrodialysis Method",
專案，在工業局的鼓勵和台灣面板產業的協助下成功的發 The Japan Society of Applied
展TMAH廢水處理和再利用的製程。首創光電業界TMAH Physics, .Vol. 41, pp. 2374-
回收再利用系統，利用萃取及純化過程，將廢液回收再利 2379 (2002)。
用。已於民國97~98年試驗完成，民國99年設備建置完 [11] 陳弘偉；何瑞莊，「半導體業
成並申請個案再利用，民國100年正式將TMAH回收液導 及光電業之四甲基氫氧化銨
入使用。 (TMAH)回收介紹」，(2011)。
回收產品TMAH-R之銷售市場，一直是回收工作最頭痛 [12] 工業廢棄物清理與資源化資訊
的問題，一般市場往往會侷限在較低階製程之LCD業者， 網。
或清洗劑之客戶。然而，高品質之TMAH-R生產成本卻較
新液原料來得高，卻無法直接反映成本於售價上，因此更
增加推廣上的難度。此時，正是使用者與供應者共同實踐
企業永續發展與環境社會之道德責任最佳時刻，期許大家
共同努力，愛護地球並提昇企業形象及減少產品的碳足
跡。

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL APRIL 2012 15