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平傳送網路，AMHS 也擁有跨樓層 廠，提供各工廠內的自動傳送服 設計流程
傳 送 設 備 例 如：Carousel、Tower 務。而台積電的超大晶圓廠，則是
stocker、OHT lifter… 等， 提 供 晶 由許多工廠所串接起來，跨工廠的
舟在不同樓層間的垂直傳送，每小 物流，就由跨接橋所負責。跨接橋 由於超大晶圓廠跨工廠物流極為重
時可傳送超過數千個晶舟，這些跨 看似簡單，但事實上它整合了結 要，通常在一個新的基地啟動設計
樓層設備結合水平傳送網路，創造 構、物流、設備、工廠佈置諸多考 同時， 我們便同步進行跨工廠路
了全世界最複雜、密度最高的交通
慮在內。本文主要說明如何設計跨 徑的研究分析，這個分析結合新廠
網路。
工廠橋接的 AMHS，及所需注意的 規劃、工廠佈置技術、 製造需求、
上述 AMHS 設備被設計在每個工 事項。 及 AMHS 設計等相關部門。針對
從小喜歡有輪子的東西。
啟 峰
人生第一個工作就是從事自動傳送系統的設計，二十年來，始終如一。
負責台積新廠自動傳送系統及自動倉儲系統設計，規劃 15 座台積電
300mm 新廠的自動傳送及自動倉儲系統。
董 Jacky Tung
NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2015 35
