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圖三、3D 設計模擬
圖四、跨工廠橋接示意圖
新廠區
連接廠區
跨接橋
直接用傳送系統克服高差或必須配 一體式設計，將 AMHS 所需之結構 戰：未臨接前一工廠，通常超大晶
置垂直傳送設備，此部分的橋接空 補強直接整合於橋梁主結構體內， 圓廠最大跨廠需求發生於與前一工
間須配置於那裡，空間多少才符合 此特殊設計及需求皆須於橋梁設計 廠互相備援 (backup)，兩廠遠離非
需求。當然設計最後還需透過 3D 之初便納入考量。 常不利橋接；與前一工廠橋接需跨
動態系統模擬如 圖三 ，確保所有設 越其他廠區；橋接之無塵室高度及
計無問題。 樓層皆不同；需同時與兩個不同工
廠橋接，且此二工廠之 AMHS 系統
案例研究 分屬兩個不同廠商；該基地剩餘可
安裝需求 使用建蔽率不多（跨接橋會占用建
跨接橋結構體不同於工廠內部，空 蔽率）。
間也相對狹小， AMHS 設備吊裝 以竹科某新設工廠為例 圖四，由於 設計初始階段，我們先分析該工
所需之吊架、支撐、吊點、維修步 此工廠基地為竹科超大晶圓廠後期 廠的規劃產能、主要產品、機台
道皆需特別設計，甚至有時須提出 取得之基地，跨廠橋接面臨上述挑 數、相鄰工廠的產能及機台、備援
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