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圖七、高度不同之交接設計

20~30 公尺，結構如何施作，此 空間、寬度皆受限制，我們必須 小，如何提供安全的維修通道，
結構如何確保吊掛 AMHS 無任何 設計不同跨樓層系統以因應空間 避免人員墜落，也是本案設計重
問題。 問題。 最後再設計如何將傳送系 點之一。另外，為避免通道阻隔
統接入跨樓層設備，能力也可滿 灑水系統，整組維修通道皆採隔
足需求。 柵板設計。
AMHS 設計─全新的挑戰
– 由於本案需同時連接兩個工廠的
– 首先，由於樓高差及舊廠空間限
AMHS 系統，而此兩系統分屬兩
制，故傳統雙層軌道車輛設計無
個不同廠商承建，軌道車輛無法
法置入此窄小空間內，我們選擇
彼此互通。為避免兩個廠商所提 結論
另一個空間需求較小的輸送機系
方案無法整合，也不考慮如何連
統置入，設計一層車輛傳送加一
接另一系統，故本案由台積提出
層輸送機傳送達成立體化，但相 超大晶圓廠跨接橋設計除考慮基地
“One Design”設計概念。根據
對成本代價也較高昂，兩個系統 特性及物流需求外，也結合了建廠
此概念，兩個廠商皆可用同一設
的維護也較單一系統複雜，如 圖 工程、工安環保、工廠佈置、風險
計、同樣的設備，來達成跨接橋
六。 管理及傳送系統等各方面的專業技
設計，總體能力也不會有差異。
– 跨越舊廠的潔淨隧道建造於諸多 另外，此“One Design”概念也 術。當然跨接橋的成功，也會是超
廠務管線範圍內，除了廠務管線 應用於建築界面，由於橋樑結構 大晶圓廠運轉的最大保障，畢竟相
須配合修改，我們也須將空間極 體本身需提供 AMHS 支撐吊點， 對於機台的投資，跨接橋成本相對
小化，減少修改衝擊。另外部分 不同 AMHS 廠商可能會有不同吊 低廉，讓公司持續用最低運轉成
廠務管線為不可修改，如何相互 點需求，本案特於設計之初，就 本，創造最大營業利益。
搭配也是一個難題。 與建廠小組密切合作，讓兩個廠
商所需之吊點統一位置。同時設
– 跨接需同時解決樓高差問題，
計一體式吊點，將 AMHS 吊掛及
如 圖七 ，由於無塵室需考慮最大
荷重需求於橋樑設計時便考慮進
產能，故解決樓高差需設計於跨
去。
接橋內。解決高差可用爬坡軌道
或垂直傳送設備來達成，本案因 – 維修及故障排除需求，此跨接橋
跨距過短，爬坡無法完全克服高 本體高度超過 20 公尺，內部為
差，故需於橋內建置垂直傳送系 透空結構體。由於內部有多層
統來解決高差問題，另由於橋內 AMHS 設備設置，加上空間狹

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2015 39