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Tech
Notes
技術專文
圖一、超大晶圓廠及跨接橋
基地概況
圖二、AMHS 系統示意圖
可供建造工廠之基地不盡相同，甚
至因取得時間點不同，造成各工廠
Tool under Intra-bay
配置無法緊鄰，甚至必須穿越其他
Inter-bay
工廠進行橋接。部分基地有高低落
差，造成橋接須伴隨垂直傳送，有
些基地則會有跨越道路而面臨法規
上的限制，基地概況，是設計跨工
廠橋接的最大挑戰。.
OHT/OHS
可能路徑
各工廠基地位置決定後就會開始模
Stocker
擬可供橋接路徑，路徑模擬分為水
平及垂直兩方向，水平部分除考慮
可用空間外，也同時須考慮建蔽
率、所需寬度、預計長度等，若跨
越路徑會經過其他工廠，也須評估
穿越之修改需求。垂直部分的模擬
主要是克服廠房高度不同時，需如
Intra-bay
何搭接，垂直傳送的部分需發生於
何處，空間是否足夠，可直接連接
或需透過垂直傳送設備方可達成。
傳送需求、基地概況、可能路徑、 (Ramp up plan)、備援計劃 (backup 適用設備
適用設備及安裝需求做廣泛的可行 plan)、及各產品分佈比例來估算 基地及跨接路徑決定後，再根據需
性討論，最後再根據各部門意見， 求量及規畫路徑開始設計 AMHS
所需之跨工廠傳送數量，另外機台
提出最佳設計方案。 橋接系統，傳送設備有相當多種選
產能提升之未來擴充，也都須事先
擇，我們可根據能力、成本、可用
計算，避免所規劃的系統能力過
空間來找出最佳方案，軌道車輛及
傳送需求 低，不符未來需求。另外傳送距離 輸送機系統是兩種最常用選擇，有
需求決定設計，工廠設計之初， 太長時，尚須考慮對製程時間限制 時也可交叉混用。另外，設計時也
我們便須根據工廠的產能、機台 (Q-time) 是否造成影響。 須考慮橋接設備如何維修、保養，
數及分布、製程世代 (Technology 甚至停線時的備用方案。若橋接需
node)、派工法則、產能提升計畫 同時克服高差問題，我們也須評估
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