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Tech
Notes
技術專文
(backup) 策略、再加上因應機台產
表一、由機台製程時間及期初批量計算傳送需求
能增加的擴充彈性，利用物流矩陣
(from-to matrix) 可計算出跨工廠傳
Step_Id EQ_id Process Time Initial Lot Numbers
送需求 MPH（Move per Hour，每
小時傳送量需求）。根據此分析 表
1 A34 31.61 0
一、圖五 ，我們判斷未來需要兩座橋
的運量方能滿足此工廠於前一工廠 2 A27 297.47 16
橋接需求。
3 A41 22.74 0
有了需求當前提，便可根據基地位 4 A42 13.33 8
置尋求此兩座橋之最佳位置。但如
5 A02 13.22 0
前述， 由於此工廠基地為後期取
得，故與前一工廠中間尚有另一舊 6 A67 3.53 0
廠存在，跨接橋如何設計方能避開 7 A04 10.96 0
舊廠房的阻隔，成為設計所面臨
8 A49 17.01 6
到的第一個難題。於此同時，我們
也發現另一難題，就是因此廠區建 9 A49 17.01 0
蔽率幾乎耗盡，故無多餘建蔽率可 10 A06 29.63 0
提供兩座橋使用，至多只能設計一
橋。同時發生的此兩問題於建廠之
初甚至讓我們想放棄建造跨接橋的 圖五、利用流程圖及製程比例推導物流傳送路徑
可行性，但由於跨接橋對超大晶圓
廠運作屬必要系統，各相關部門群 A75
策群力最後終於找出解決方法：將 24 A51 23.20 100% 49% 37%
橋內 AMHS 設備立體化，原先所 A51 12% A43
25 A75 20.00 49%
需兩座橋可因立體化工程縮減為一 12%
座橋；透過修改舊廠內部部分設 26 A76 20.00 12% A76
施，創造出一條潔淨室通道 (Clean 27 A43 16.57 100%
Tunnel)，作為此跨接橋連通兩廠的 51%
主要幹線，跨接橋不須繞過此舊廠
區。至此，跨接橋的路徑大致定案。
圖六、跨接橋內多層傳送系統
路徑方案決定後，下一步便須思考
如何於此路徑搭建橋樑。在此我們
又碰到另一問題，那就是新廠、前
一工廠、跨接舊廠，三者的樓層高
度皆不相同，且差異極大，此設計
含兩部分：
AMHS 對跨接橋土建需求
內容包含：
– AMHS 所需空間規劃，特別是立
體化後的高度需求。
– 舊廠內部修改如何施作，何時施
作，特別是要在一般環境建造一
條無塵室隧道。
– 總樓層高差大造成跨接橋高度達
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