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The Fingerprint
Database of
Chemical PPT
Metal
Pollution
& Improvement
化學品金屬汙染
指紋資料庫與改善對策
文│楊中星 趙培辰 黃庭軒 羅立偉│南科廠務五部│
前言
公司為了確保廠內所使用的化學品純度以維持晶圓品質，各廠皆有針
對化學品金屬離子濃度做例行性量測，金屬離子量測作業消耗的工時
人力與機台費用龐大，化學品從取樣、送樣、到量測過程每次皆費時
約 4~6 小時，若在上述過程中化學品不慎遭受污染，需重新取樣後
量測進行二次數據消耗額外的時間與人力，若二次取樣數據未回穩，
還可能造成全廠停線、廠商退貨、廠務換酸等等行動而影響甚遠；以
2016 年終廠內發生之鹽酸物料檢測超出管制規格為例，當時要求每
中科十五廠五期化學供應系統 攝影/洪湘寧
桶鹽酸都必須檢測，而每次取樣為使干擾降低須使用大量化學品清洗
管路後才能取樣 ( 約 70 升 )，額外花費掉約一百四十萬新台幣，其代
價如 表 1 所示。為求準確且於日後快速判別化學品金屬離子數據異常
的根本原因，本文分析現行量測過程中可能出現的干擾因子加以實驗
佐證並改善，期盼以此提高化學品金屬離子濃度量測的成功率。
負責化學品、研磨液的 希望能在專業 興 趣： 打籃 主要投入 Quality
中 星 培 辰 庭 軒 立 偉
供應系統，期待未來能 趙 P. C. Chao 領域深耕，然 球、打排球、 羅 Li-Wei Lo 精 進 和 Lorry 純
持續找到廠務系統更 後拓展所能、 黃 T.H. Huang 看 電 影、聽 液供應系統改善
加穩定運轉的方式。 發揮所長。 音樂。 和管理。
楊 Jhong-Sing Yang
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 15
