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表 3、閥件、泵浦金屬離子汙染模擬實驗數據

Experiment Subject Condition Unit Na Mg Al Ca Cr Fe Co Ni Cu Zn Ag Pb K
Material

Pump Pump diaphragm broken ppt 8866 1789 903 6438 118 3747 10 14646 2154 3812 <5 5604 6588
H 2 SO 4
Valve Valve failure ppt 7107 1127 1238 8723 956 20549 52.7 1510 1623 35226 <5 247 2990

圖 2、換酸作業採主副手分責降低汙染風險

作業前更換手套 空桶接頭拆除 實桶上機 接頭銜接

主手 主手 副手 主手

圖 3、廠內化學品供應系統圖示

Tool

Valve
Valve
Pump VMB
Valve
CDU

Lorry tank A Lorry tank B

Valve
Valve Pump
Pump
Circulation
Valve
CCB/CTU

化學品供應系統金屬離子汙染 化學品接觸到閥件或泵浦內部金屬 度偏高，廠現行泵浦隔膜材質多為
風險評估 元素造成金屬離子汙染，其污染等 「聚四氟乙烯」，若泵浦隔膜 圖
級多為 PPB 等級，實驗結果如 表 4 破損將化學液洩漏至外部螺絲等
廠內化學品供應系統如 圖3 ，其可 3。第一點數據顯示泵浦隔膜破損導 處造成金屬汙染。第二點數據顯示
能遭遇汙染因子有閥件、泵浦，若 致化學液接觸到隔膜元素將使 [Na], 閥件破損將導致化學液接觸到金屬
閥件破損、泵浦隔膜破裂，可能使 [Ca], [Fe], [Ni], [Pb], [Zn], [K] 濃 [Na], [Ca], [Fe], [Ni], [Pb], [Zn] 濃

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 17