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圖 6、手套清洗原始設計之邏輯圖

改良

示意作法，正壓箱內不易拍攝 超純水直洗 空氣鎗吹淨 夾鏈封藏

表5 所示，可得知各等級滑石粉所
表 6、手套潔淨法之取樣改善率
含有之金屬濃度是相當高的，因此
若在過程中有不小心抹到取樣管或
W601~W635 W635~W650 改善後 改善率
取樣瓶，便有可能造成取樣干擾，
使得金屬量測出現假警報。
28次 5次 等倍率放大 11次 61%
因此，於手法上，在取樣前加入人
員清洗手套之動作，但往常之作法
圖 7、環保所檢驗外氣之金屬組成 是利用洗滌瓶於取樣箱內進行清

潔，此作法因為執行空間狹小，清
洗不易，依然會出現殘留現象，並
且需開啟取樣箱門一段時間，反而
K, 6.89% 容易造成外氣進入而干擾取樣，因
B, 13.28% Mg, 2.22% 此現階段改良之作法，人員會於實
Cr, 0.24% Ca, 3.80%
Cu, 1.01% Fe, 5.56% 驗室抽氣櫃內，一次大量利用超純
Pb, 0.01% Na, 13.04%
S, 43.65% Zn, 1.69% 水 (UPW) 仔細清洗手套，一次洗
Al, 8.01%
備當天所需之手套量，並利用空氣
槍進行乾燥，完成後以夾鏈袋封藏
於取樣前使用，如 圖6 所示。清洗
手套後金屬量測改善率達 61%，如
表6 所示，目前此套作法已全數於
圖 8、南科 M612-M701 取樣失敗金屬組成比例 南科 14B 施行。

HPM 環境
實驗數據顯示廠務系統取樣箱因接
Ca, 26% 觸 HPM 環境，若人員取樣作業不
Na, 6% Zn, 3%
Mg, 6% Pb, 3% 慎容易將環境中金屬離子帶進取樣
Cu, 3% Ni, 3% 箱內造成金屬離子汙染，成大環保
Co, 6% Al, 15%
K, 12% Fe, 17% 所曾分析過一般外氣環境金屬組
成，可作為佐證，如 圖7 所示，而
目前現行系統金屬元素時常取樣失
敗的金屬組成比例與一般外氣環境
金屬不謀而合，如 圖8 所示

為解決外氣造成的取樣干擾影響，
偏高。第一線人員會和取樣瓶有直 方便脫戴，往往都會加入滑石粉， 考慮到廠務既有之資源，氣體課
接接觸之介面，便是手套，而廠內 而各工廠之滑石粉規格不盡相同， 所擁有的氮氣 (N 2 )，很常應用於
使用之防酸手套，在製作過程中為 以 KING SIGMA 此廠牌為例子，如 CDU，因此此氣體對於設計上來

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 19