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技術專文

表 1、2016 年終廠內鹽酸化學品檢測花費

化學品 物料成本(NTD/L) 取樣管清洗時間(mins) 取樣管清洗體積(L) 總檢測數量(ea) 清洗成本(NTD)

鹽酸 52 10 70 368 1.4 M

用於清洗體積(L) 25760

表 2、換酸作業金屬離子汙染模擬實驗數據

Experiment Subject Condition Unit Na Mg Al Ca Cr Fe Co Ni Cu Zn Ag Pb K
Material

DI 手套 全新手套DI採樣 ppt 956 376 <1 141 <1 <1 <1 <1 <1 281 <1 <1 241

清洗後的新手套DI採樣 ppt 6.6 <1 <1 5.4 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1

進行換酸程序後的已清洗手套DI採樣 ppt 28600 1100 <1 4900 50 <1 <1 79 <1 7673 <1 <1 865

新手套"點選HMI/開機台門"DI採樣 ppt 10549 916 <1 2011 <1 <1 <1 <1 <1 7124 <1 <1 973

開瓶器 進行換酸程序後的扭力板手DI採樣 ppt 4363 134 43 5541 <1 <1 <1 20 <1 33 220 <1 <1

環境 水樣瓶暴露在HPM區環境後檢測 ppt 10 <1 <1 110 <1 <1 <1 <1 600 230 <1 <1 <1

圖 1、廠內化學品金屬離子濃度檢測前所經流程

換酸作業 供應系統 取樣作業 送樣作業

手套、換酸工具、HPM環境 閥件破損、泵浦隔膜破損 手套、取樣箱 HPM環境、非HPM環境

廠內化學品金屬離 程序：換酸作業→化學品供應系統 HPM) 環境因素，若人員換酸過程
→取樣作業→送樣作業如 圖1 ，本 作業不慎有可能使化學品接觸到手
子濃度檢驗前流程 文將針對此四流程分析金屬離子可 套、換酸工具、HPM 環境造成金
能出現的汙染因子並定義其汙染等
屬離子汙染，上述其污染等級多為
級。
PPB 等級，實驗結果如 表2。數據
任何化學品進廠前會先由公司原物
說明人員進行換酸作業後使用之手
料審核單位卡關化學品內金屬離子
濃度，濃度需符合廠內規範才得入 換酸作業金屬離子汙染 套、換酸工具開瓶器等易沾染環境
廠。化學品進廠後將經由廠務化學 風險評估 不純物造成金屬汙染，需嚴防使用
品供應系統穩定供應至線上，廠內 換酸作業可能遭遇汙染因子含手 工具碰觸到化學品，廠內換酸作業
化學品的例行性量測樣品在送至實 套、換酸工具、「高風險區域」 已採主副手分責降低汙染風險如 圖
驗室量測階段前，會經過下述四道 (Hazardous Production Materials, 2。

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