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Tech
Notes
技術專文
表 7、外箱 N 2 氣幕流量最佳化實驗數據
Item Na Mg Al Ca Cr Fe Co Ni Cu Zn Ag Pb K
Spec for HF1% (ppt) 40 20 200 200 40 400 40 200 40 40 40 40 40
Control for HF1% (ppt) 20 20 100 110 20 110 20 25 20 20 20 20 20
N2 = 0 LPM 101.7 99.8 306.8 1061.3 4.8 241.1 15.6 <3 3.5 56.0 <3 5.9 111.7
N2 = 15 LPM 41.5 30.8 81.6 294.1 <3 63.9 5.2 <3 <3 35.5 <3 <3 43.4
N2 = 30 LPM 35.2 24.7 74.1 205.5 <3 49.7 <3 <3 <3 23.1 <3 <3 41.5
N2 = 40 LPM 11.8 8.7 23.8 71.1 <3 18.9 <3 <3 <3 6.2 <3 <3 19.0
N2 = 45 LPM 4.8 7.4 18.0 57.4 <3 20.4 <3 <3 <3 5.5 <3 <3 7.6
說具有高度之信任度。設計靈感來
圖 9、正壓取樣箱設計示意圖
源，參考商店的玻璃門上的氣門，
用於隔絕冷氣外流，只是換成廠內
抽氣管路 外箱N 2 氣幕 內外箱抽氣管
之N 2 應用成隔絕外氣之氣幕，並
以此為立基點，在原本取樣的箱口
再裝置一層外箱，變成內外箱設
計，而外箱便維持微正壓，隨著 N 2
取樣管
循環流，將開門時進入之外氣一併
帶入抽氣系統內，如 圖 9 所示。取
樣箱改善現場實際照片如 圖 10 所
示。
為了證明正壓取樣箱之做法是
具有正相關性，利用氫氟酸 1%
(HF1%)，進行取樣實驗，將 N 2 流
圖 10、取樣箱改善現場實際照片 量，由零開至流量計之最大設計流
量，45 升 / 分 鐘 (LPM)， 並 於 不
同流量下各做三次開瓶靜置實驗，
每次靜置 30 分鐘，用意讓化學品
吸取箱內之氣體含有之金屬，並將
三次數值取平均，以得到統計三
重度之結果，實驗數據如 表 7 所
示，反紅表示超過該化學品的管制
(SPEC) 規格。
改善前 改善後
由以上數據可得知當 N 2 流量加大
之約 40LPM 左右，多數之金屬量
測結果已在實驗室之機台的量測誤
差範圍內，但如 [Na]、[Mg]、[Al]、
[Ca]、[K] 等環境金屬，仍有少許
讀值，因此仍有要素尚未達到最佳
化。環顧系統內，抽氣管路口徑為
整體外觀 六分管，懷疑是抽氣效率大於 N 2
流量，而使得系統偶爾會抽到外氣
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