Page 21 - Vol.27

表 8、正壓取樣箱最佳化後之實驗數據

Item Na Mg Al Ca Cr Fe Co Ni Cu Zn Ag Pb K

Spec for HF1% (ppt) 40 20 200 200 40 400 40 200 40 40 40 40 40

Control for HF1% (ppt) 20 20 100 110 20 110 20 25 20 20 20 20 20

內箱抽氣封四分之三 8 6.3 19.6 59.2 <3 21.5 <3 <3 <3 8 <3 <3 11.2

內&外箱抽氣封四分之三 <3 <3 <3 20.7 <3 7.3 <3 <3 <3 5.4 <3 <3 <3

2nd 隔夜後再現實驗 <3 <3 <3 15.1 <3 8.2 <3 <3 <3 <3 <3 <3 <3

表 9、送樣作業金屬離子汙染模擬實驗數據

Experiment Subject Condition Unit Na Mg Al Ca Cr Fe Co Ni Cu Zn Ag Pb K
Material

DI 環境 水樣瓶暴露在HPM區環境後檢測 ppt 10 <1 <1 110 <1 <1 <1 <1 600 230 <1 <1 <1

水樣瓶暴露Non-HPM環境後檢測 ppt 2090 3860 <1 10480 <1 <1 <1 <1 1630 4980 <1 <1 10030

圖 11、最佳化後之正壓箱環境示意圖 圖 12、人員送樣作業取樣瓶密封

外箱N 2 內外箱抽氣
抽氣管路
40 LPM 管開度縮小
四分之三

取樣管

送樣作業金屬離子汙染
風險評估

送樣作業可能遭遇汙染因子為
HPM 環境及非 HPM 環境，其實驗
結果如 表9，若人員送樣時密封未
完全可能使取樣瓶接觸外氣造成金
進入，以此為出發點再將正壓箱的 結果，可將 [Na]、[Mg]、[Al]、[Ca]、 屬離子汙染，其污染等級多為 PPB
抽氣管路大小封到僅剩原本的四分 [Fe]、[Zn]、[K] 之 金 屬 檢 測 之 干 等級，現行取樣作業已規定取樣瓶
之一，綜合上述 N 2 流量參數，在 擾，「改善 90% 以上」，並且這 須裝至密封袋後才放至送樣箱內 圖
加此抽氣管路之環境參數去做 30 是在惡化實驗下的改善成果，若是 12 ，多一層防護避免送樣箱蓋滑動
分鐘靜置實驗，如 圖 11 之示意圖， 在一般的 CDU routine sampling 之 導致接觸大氣。
狀況下，人員是不可能將取樣瓶開
實驗結果如 表8 所示。 化學品金屬汙染指紋資料庫
瓶超過 30 秒以上的，此實際應用
由上述實驗數據可知，最佳化後之 面可期待優於惡化實驗之結果；目 歸納前四項實驗數據及方法可整理
正壓取樣箱的 30 分鐘之靜置實驗 前 14B 已全數施作此對策。 得出金屬汙染指紋資料庫如 表 10。

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 21