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Tech
Notes
技術專文
表 10、廠務系統四大階段金屬離子汙染模擬實驗數據
污染源 Index & Level 原因
PM手套 ppb : Ca, Na, Mg, Zn PM手法（過程觸碰污染源）
ppt : Ca, Na, Mg, Zn, K 手套本身材質（滑石粉）
PM工具&設備 ppb : Ca, Na. ppt : Mg, Zn PM工具使用手法&存放位置不潔
ppt : Ca, Na, Mg, K 取樣箱污染
工作環境 ppb : Ca, Na, Mg, Zn, K, Cu 環境灰塵干擾－非HPM
ppt : Ca, Zn, Cu 環境灰塵干擾－HPM
設備元件 ppb : Ca, Na, Mg, Zn, K, Cu, Fe, Ni, Al, Pb. Ppt : Cr, Co 元件破損
分析儀器干擾 單一元素／Ag離子出現／非規則排列組合 儀器減量線干擾
污染源 供應系統 換酸作業 取樣作業 送樣作業
PPB
PPT
Metal 泵浦 閥件 手套 換酸工具 環境HPM 手套 取樣箱 環境HPM 非HPM
Ca
Na
Mg
環境
Zn /PM 手法
K
Cu
Fe
Ni
元件損壞
Al
Pb
Cr
Co
Ag
實際案例應用舉例如 表 11 ：W637 結論 或缺，但一筆失真的數據將使得人
NH 4 OH 29% Routine CDU [Ca] 力消耗以及指令判斷錯誤，其付出
[Na] [Mg] [Zn] OOW 比 對 指 紋 資 的代價可能耽誤廠內運轉時間，然
料庫判斷為取樣手套汙染，更換新 為了監測廠內使用的化學品純度， 而一筆成功且真實的數據需要廠務
手套重取數據正常。 金屬離子的例行性量測作業已不可 同仁及實驗室共同努力。廠務給予
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