Page 79 - Vol.28

圖 4、現場環境迴風孔洞全面填實與銑地磨平，已達符合需求

2-Part 2-
Measurement
conclusion
銑地磨平20mm Table 2
-reference: A1,
see chapter 4.1
MIN 0 ≥ 420 mm
MAX 0 ≤ 426 mm

圖 5、Source 板安裝示意圖

484mm 480mm 425mm

Source 25mm
Epoxy
Support plate 20mm
Epoxy 20mm

以Support plate做基底，以此做水平校正& Epoxy填充
使用Source板原有Epoxy填充口，做Support plate & Source螺絲鎖固組合孔洞
鎖固前，填充2mm Epoxy於Support plate上方，以確保鎖固後緊密接合

EUV Foundation 有裝機之順利度，皆靠此中心為 地板銑平增加 20mm 圖4 ，主要
基準依據，故此點為非常重要核 也是因應此安裝需求之變更。
各項安裝檢測需求 心，為避免安裝位置與基準點產
– Source 安裝階段性完成後，原廠
生誤差，在下料安裝前與現場安
到場檢視時，才告知 Source 下方
裝過程中仍然與原廠再次至現場
需全面填實不可有空隙，為了改
– 於接獲設備通知放樣完成後， 確認，剛開始相關位置也因皆使
善此問題，將迴風孔洞全面填實
隨即安排至現場針對樓板高度 用人工進行量測確認，量測結果
且 Source 原本除了 AB 膠安裝固
作放樣，一片高架地板需放樣 仍被質疑誤差不準確，為了如何
定外，也依照裝機需求，提出使
五點，依安裝範圍需放樣至少 達到澄清此規範無誤而困擾。
用環氧樹脂 (Epoxy) 進行填充。
6×16=96 片地板共 480 個點，
– 於基座安裝過程中，為了配合 但 是第一 次在 灌注 Epoxy 完 畢
才能確保地板下高度誤差值不會
BTS 的安裝，原廠同時也要求基 後，又發現因樓板地面不平，
影響到後續下料安裝，但此時尚
座與後方基準板 (Source) 之間， Epoxy 無法全數展延，導致空氣
未引進量測儀器，所以非常的耗
必 需 有 420~426mm 需 求， 而 之產生，為此再次與原廠討論
時耗工。
廠區既有的環境放樣平均高度為 解決，在不影響裝機相對位置的
– 此機型裝機之定位點，也跟以往 450mm，在於高度不足的情況 鐵板上加鑽孔，由這些孔洞灌充
由機台四周圍 (X/Y) 作為裝機基 下造成了 Source 安裝上極大的 Epoxy 並排除空氣改善底下無法
準 點， 改 由 MB2 SF 作 為裝 機 挑戰。為了配合 BTS 高架地板下 填隙的問題 圖 5。
及定位之基準 (X/Y/Z) 圖3 ，所 裝機高度需求，廠區環境將高架

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2017 79