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新象新知

因大多數設備保養機台時使用IPA所
以廠內皆選用氧化鎂燈泡，因此PID
實驗室儀器(y)&廠商儀器(x)分析 實驗室儀器(y)&廠商儀器(x)分析 適合機器人應用，除了反應快速以
相同標準品創造兩者關聯性公式 相同環境氣體修正關聯性公式
外，耗電量與體積皆不大，目前無塵
室中AMC巡檢人員都使用PID稽核；
標準氣體 y = βx + α 環境氣體 x = α + βx
電化學法在台積電常使用於固定位置
之感測器，可根據氣體分子量多寡來
架設位置高低，例如水處理區架設感
公式結合
30 測器於地下室偵測HCL濃度(是否有
25 y = 0.992x - 0.178 洩漏)，電化學法優點為高靈敏度、
R² = 0.995
將上述 20 簡便、應用性廣泛，缺點為易受其
他氣體浸蝕老化，電化學法之感測器
15
兩公式結合 減量線 實驗室儀器
y-x ˙
Average (abs[ ]) 調整 10 應用於機器人適用在非無塵區或量測
y
5 範圍在ppb~ppm間，因量測速度較
0 快外，耗電量低及選擇性高；傅立葉
0 5 10 15 20 25 30
轉換紅外線光譜儀(Fourier-transform
廠商儀器
infrared spectroscopy, FTIR)目前台
積電廠區無使用相關技術，但此技術
圖 6、減量線調整方式
將來可導入機器人，其優點為大量圖
譜(約300多種氣體)內建於機器，此
課別 巡檢項目 動作說明(感測器應用) 技術可比擬為將每種氣體建立「指紋
辨識」，可最多量測25種氣體，也
可以自行定義氣體圖譜，設立台積專
機械課 錶頭、轉動設備異音檢測、加藥桶槽、 視覺、異音、氣體感測
瓦斯流量、燈號、環境氣體濃度 屬氣體；異味污染物官能測定法可稱
為電子鼻，亦稱臭味計，目前台積電
錶頭、燈號、電燈、轉動設備異音檢測 視覺、異音
有導入但無使用，因其定量不定性，
TVOC、CXF、NH3、TS、HCL、溫濕度 視覺(影片傳輸)、氣體感測、 熱機時間長，因此均以PID代替使
溫溼度感測
用，電子鼻通常用於醫療、環境檢測
錶頭、燈號、電燈、轉動設備異音檢測 視覺、異音、溫溼度感測 等，由於量測氣體大多可以建立，使

錶頭、燈號、轉動設備異音、檢測溫濕度 視覺、異音、溫溼度感測 用上有較大的彈性，但缺點為量測精
密度較差且易受外界干擾導致無法偵
電力課 SF6錶頭、燈號、電燈、變壓器激磁異常、 視覺、異音、氣體感測、
氧氣濃度偵測 溫度感測 測出要量測的訊號，且使用前需要建
立許多不同的樣本，才能產生統計數
燈號、電燈、氧氣濃度偵測、局部溫度 視覺、氣體感測、溫度感測
循環不佳 據圖表定義出規則，因此使用的前置
作業繁複，常使用在濃度高且單純的
水課 錶頭、電燈、轉動設備異音、環境氣體 視覺、異音、氣體感測
環境中，如何應用於台積電廠內仍需
氣化課 氣體使用量錶頭、new getter表面溫度、 視覺、紅外線溫度計、
環境氣體濃度 氣體感測 重新評估。
Specialty gas 供應盤面、環境氣體濃度、 視覺、氣體感測
化學品填充使用量、Lorry純廢液紀錄、
槽車控管、6S巡檢、 巡檢機器人之運用規劃
Chemical & Slurry Drum使用量

廠 整理(如 表3)。測試區域選定為
表 3、巡檢機器人感測器應用 務各系統區域特性與巡檢項目

FAB內B2F水處理區，驗證機器行走
定位與視覺辨識能力。
現今分析氣體原理有許多種，介紹幾種分析原理與其優劣，比
色法目前無法應用於機器人巡檢，因為氣體濃度需透過色帶辨
視覺辨識與應用規劃
識設備，造成其總耗電量大、機櫃體積龐大且重量過重；PID
光離子原理由於PID反應快速，可根據外氣TOC的不同游離電 巡檢人員檢查目標包含是否異常液體
位(Ionization Potential, IP)選用不同材質的燈泡，台積無塵室 洩漏露、人員發生意外、環境 6S、

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