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Sample Name TVOC1 MeCl2 Toluene 2-Butanone SO 4 2- NH 4 + NO 2 -

水處理區OA TEST1 19 2.7 1.8 3.2 0.023 17.50 0.250
水處理區OA TEST2 16 <0.1 2.3 3.1 0.235 17.15 0.481
UNIT Unit: ug/m 3 Unit: ug/m 3 Unit: ug/m 3 Unit: ug/m 3 ppb ppb ppb

表 6、 水處理區環境氣體

RJ-45
Environment
Data Data Local SCADA FMCS T-phone
Input Output
RJ-45 SMS

API NH3/TS PID TOC MiTap TOC PICARRO CxF
Sensor

Connectors &
Communications RJ-45/4-20mA RS485/232/4-20mA RJ-45 RJ-45/4-20mA

圖 10、嗅覺量測系統圖及通報機制

於何種地區、該區環境狀況、量測儀器偵測時間、量測儀器的 的空間規劃。最後在通訊方面，感測
耗電情況、與機器人的通訊架構，此外因嗅覺感測器應用於機 器與 AGV 溝通之傳輸字串也不能中
器人上，所以也需考量當機器人移動時產生的震動是否會影響 斷，若字串不完整則無法回傳正確數
嗅覺感測器的測值，氣體感測器選用需求 ( 如 圖 8)。 值造成誤判。
機器人量測儀器之通訊界面，如 RS-232、RS-485、RJ45 或 I/ 舉例：台積水處理區氣體成分，氨、
O 通訊模組，設定機器人無線傳輸通訊模組與收發裝置通訊位址 HCL、硫酸、HF、TVOC，量測範圍
匹配，再透過無線載波將資料發送至收發裝置上，直接將數據 應選擇次於無塵室等級(ppt~ppb)之量
顯示在通訊監控軟體上 ( 如 圖 9)。 測儀器(ppb~ppm)，使用之儀器須以
多樣化且能即時回傳，透過無線傳輸
廠內眾多嗅覺感測器，選用的方向除了參考 圖 8 的建議外，嗅
通訊模組，設定儀器內部通訊位址與
覺感測器應用於 AGV 上也會遇到許多需要克服的地方，以無
收發裝置通訊位址匹配，將數據顯示
塵室中應用到的嗅覺感測器為例，並非任何感測器都能應用於
在通訊監控軟體上。
AGV 上，嗅覺感測器應用的困難及解決的方式 ( 如 表 5)，最常
台積水處理區量測 MA/MB/MC 之讀
遇到的困難為感測器耗電量過高，以 AGV 之 UPS 電容量 60Ah
計算，裝上感測器耗電量約 200W 時，連續使用時間約為 6~7 值(如 表 6)， 此 區 為 水 處 理 區， 因
此有機污染物會影響純水供應影響生
小時，所以當使用感測器大於 400W 時，連續使用時間僅剩約
產，所以需特別量測，當氣體濃度超
3 小時，因此解決高耗電量問題需增設 UPS。機櫃體積也是需
過 X 值時機器人應通知值班人員至現
克服之處，將機櫃體積縮小化時須考量需要多少總散熱風量，
場處理避免影響生產。
將耗電設備降溫，若散熱不良會產生熱空氣滯留導致短循環，
並造成感測器熱當，因此設計機櫃時要依照每個感測器做適當 巡檢機器人嗅覺系統架構 ( 如 圖 10)，

300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2018 87