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圖3、化學濾網安裝位置 圖4、2017年F12P4 MAU及ECP環境IPA趨勢圖

30
Penthouse MAU IPA
或靜風沉降
20 夏季西南風
Value 冬季東北風
MAU A 10
MAU出口IPA>8ug/m 3
0
4F 1/1 12/31
30
B ECP IPA
FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU 20
Value 頻繁更換環境濾網
DCC
10
EQ EQ 3F
0
1/1 12/31

圖5、MAU安裝TOC化學濾網無法控制IPA<8ug/m 3

30
7/6 13:23 25.52 g/m 3
Replaced filter IPA

20
Value 3days, 7/9 16:26
16.66 g/m 3
10

0
2017/07/01 02:59 2017/07/01 14:43 2017/07/02 04:13 2017/07/02 15:58 2017/07/03 03:43 2017/07/03 11:25 2017/07/03 23:10 2017/07/04 10:55 2017/07/05 00:24 2017/07/05 12:09 2017/07/05 23:54 2017/07/06 13:23 2017/07/07 01:07 2017/07/07 14:37 2017/07/08 01:25 2017/07/08 09:41 2017/07/08 12:35 2017/07/09 02:57 2017/07/09 16:26 2017/07/10 04:11 2017/07/11 18:59 2017/07/12 10:12 2017/07/12 18:06 2017/07/14 12:36 2017/07/14 23:55 2017

圖6、ECP區環境濾網更換頻繁

12.5
IPA
OOW 8
10 12
1 2 5 7 9 10
4 11
7.5 3
Value

5 6

2.5

0
2017/07/01 07:20 2017/07/01 19:04 2017/07/02 06:49 2017/07/02 20:19 2017/07/03 08:04 2017/07/03 14:02 2017/07/04 03:31 2017/07/04 15:16 2017/07/05 03:01 2017/07/05 16:30 2017/07/06 04:15 2017/07/06 17:44 2017/07/07 05:28 2017/07/07 17:13 2017/07/08 04:02 2017/07/08 15:12 2017/07/09 07:18 2017/07/09 19:03 2017/07/10 08:32 2017/07/11 21:35 2017/07/12 20:43 2017/07/14 15:13 2017/07/15 04:16 2017/07/15 15:35 2017/07/16 02:53 2017

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 39