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表 6、模型驗證結果

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模型 風量 (CMH) 風速 (m/s) 濾網面積 0.6m×0.6m 濾網道數 IPA<8ug/m 濾網壽命(天)

原設計 2,980 2.3 0.36 1 < 1

降低風速 648 0.5 0.36 1 6
增加道數 583 0.45 0.36 2 14

圖20、模型實驗結果比較

100% 25
90%
80% 20 單層, 2.3m/s
70% 15 單層, 0.5m/s
雙層, 0.5m/s
濾網效率 (%) 50% 濾網出口IPA (ug/m 3 ) 10
60%
40%
30% 單層, 2.3m/s 8ug/m 3
單層, 0.5m/s
20% 雙層, 0.5m/s 5
10%
0% 0
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
濾網壽命 (Days) 濾網壽命 (Days)

圖21、Cylinder type TOC Filter再生實驗 圖22、區域型MAU濾網箱

40
35 (1) 95C, 100mins (3) 95C, 240mins (5) 80C, 240mins
(2) 105C, 240mins (4) 90C, 240mins (6) 80C, 240mins
30
25
IPA (ug/m 3 ) 20 MA Duct Close

15
Open Heater To ECP
10 Open
Inlet
5
Outlet
0
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80 85 90 95 100 105 110 L40
Time (hrs) Before After

結果與分析
圖23、區域型MAU濾網箱安裝位置

Penthouse 由於模型實驗結果成功，進一步將區域型MAU濾網箱

組裝起來，安裝於ECP區的MA風管系統上，如 圖22 ，
MAU A
C 系統有bypass設計，更換濾網時只需將Bypass風門打
4F 開，濾網箱前後風門關閉即可更換濾網，更換濾網在
B L40層作業，可減少在L35高風險區域更換三合一濾網
FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU
DCC 的作業風險。
EQ EQ 3F 區域型MAU濾網箱安裝位置如 圖23的C點所示，實際
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導入系統測試，可控制ECP區MA IPA < 8ug/m ，壽

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 45