Page 44 - Vol.30

Tech
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技術專文

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圖17、單層濾網，風速2.3m/s，出口IPA>8ug/m ，壽命< 1天
100% 40
90% 35
80% 效率 (%) Inlet (ug/m 3 )
30 Outlet (ug/m 3 )
70% 25
濾網效率 (%) 50% IPA (ug/m 3 ) 20
60%
40%
30% 15
10
20%
10% 5
0% 0
2017/11/8 14:24 2017/11/8 16:48 2017/11/8 19:12 2017/11/8 21:36 2017/11/9 00:00 2017/11/9 02:24 2017/11/9 04:48 2017/11/9 07:12 2017/11/8 14:24 2017/11/8 16:48 2017/11/8 19:12 2017/11/8 21:36 2017/11/9 00:00 2017/11/9 02:24 2017/11/9 04:48 2017/11/9 07:12

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圖18、單層濾網，風速0.5m/s，出口IPA<8ug/m ，壽命6天
100% 40
90% 35
80% 效率 (%) 30 Inlet (ug/m 3 )
70% 25 Outlet (ug/m 3 )
濾網效率 (%) 50% IPA (ug/m 3 ) 20
60%
40%
30% 15
10
20%
10% 5
0% 0
2017/3/7 00:00 2017/3/8 00:00 2017/3/9 00:00 2017/3/10 00:00 2017/3/11 00:00 2017/3/12 00:00 2017/3/13 00:00 2017/3/14 00:00 2017/3/15 00:00 2017/3/7 00:00 2017/3/8 00:00 2017/3/9 00:00 2017/3/10 00:00 2017/3/11 00:00 2017/3/12 00:00 2017/3/13 00:00 2017/3/14 00:00 2017/3/15 00:00

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圖19、雙層濾網，風速0.5m/s，出口IPA<8ug/m ，壽命14天
100% 40
90% 35
80% 30
70% 25
濾網效率 (%) 50% IPA (ug/m 3 ) 20
60%
40%
30% 效率 (%) 15 In_IPA Out_IPA 8ug/m 3
10
20%
10% 5
0% 0
2017/12/14 2017/12/15 2017/12/15 2017/12/16 2017/12/16 2017/12/17 2017/12/17 2017/12/18 2017/12/18 2017/12/19 2017/12/19 2017/12/20 2017/12/20 2017/12/21 2017/12/21 2017/12/22 2017/12/22 2017/12/23 2017/12/23 2017/12/24 2017/12/24 2017/12/25 2017/12/25 2017/12/26 2017/12/26 2017/12/27 2017/12/27 2017/12/28 2017/12/28 2017/12/29 2017/12/14 2017/12/15 2017/12/15 2017/12/16 2017/12/16 2017/12/17 2017/12/17 2017/12/18

時間及溫度的再生測試，結果如 圖 現性良好，脫附溫度80℃時及脫附 TOC Filter可過濾高沸點VOCs，避
21 ，IPA的沸點82.6℃，脫附溫度 時間4hrs，再現性次好。 免區域型MAU濾網箱的濾網吸附
需高於沸點，測試結果在脫附溫度 因90~105℃的脫附溫度無法脫附 高沸點VOCs而降低對IPA的吸附能
90℃~105℃及脫附時間4hrs，再 高沸點VOCs，在上游的MAU安裝 力。

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