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技術專文

圖24、過濾外氣IPA後減緩ECP環境濾網更換頻率

15days 15days
30 IPA 30 IPA

20 20
Value Value
10 8ug/m 3 10 8ug/m 3
MAU-14 ECP-MAU
0 0
2017/07/14 23:55 2017/07/15 11:14 2017/07/15 22:32 2017/07/16 11:35 2017/07/16 22:56 2017/07/17 10:15 2017/07/17 21:33 2017/07/18 10:36 2017/07/18 21:55 2017/07/19 09:14 2017/07/20 04:48 2017/07/21 07:20 2017/07/21 13:23 2017/07/22 08:06 2017/07/22 16:45 2017/07/23 03:12 2017/07/23 13:38 2017/07/24 00:05 2017/07/24 10:31 2017/07/24 13:35 2017/07/24 18:21 2017/07/25 11:28 2017/07/25 21:54 2017/07/26 08:21 2017/07/26 18:47 2017/

15days 15days
12.5 IPA 12.5 IPA
2
10 1 3 4 6 10
OOW 5 OOW
Value 7.5 5 Value 7.5 5

2.5 2.5
GUECN3-ENV GUECN3-ENV
0 0
2017/07/14 15:13 2017/07/15 04:16 2017/07/15 15:35 2017/07/16 02:53 2017/07/16 14:14 2017/07/17 03:17 2017/07/17 14:36 2017/07/18 01:54 2017/07/18 13:13 2017/07/19 02:16 2017/07/19 13:35 2017/07/20 09:09 2017/07/21 15:34 2017/07/22 12:03 2017/07/22 18:56 2017/07/23 05:22 2017/07/23 15:49 2017/07/24 02:15 2017/07/24 15:46 2017/07/24 22:16 2017/07/25 13:38 2017/07/26 00:05 2017/07/26 10:31 2017/07/26 20:58 2017/07/27 07:24 2017/

Before After

圖25、區域型MAU濾網箱可使ECP區IPA全區<10ug/m 3

Penthouse Penthouse
IPA FFU+Filter IPA 區域型
MAU

MAU MAU
Truss DCC
MA+RA
MA
FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU
ECP 九宮格 ECP
IPA>10 g/m 3 IPA<10 g/m 3 全區IPA<10 g/m 3
RA RA

Clean Sub-FAB Return Air Clean Sub-FAB Return Air

環境FFU+ 3in1 filter 區域型MAU濾網箱

命達15天。降低ECP區域MA IPA 左圖。而ECP區使用區域型MAU濾 區域型MAU濾網箱時可降低ECP環
濃度後，ECP區環境IPA上升速度 網箱後，因將外氣IPA控制<8ug/ 境濾網更換次數由60次降為12.9
3
趨緩，降低了環境濾網更換頻率， m ，所以ECP區環境可全面做到 次，運轉費用降為NTD 9.8M，較
原方式費用減少NTD 5.0M，費用
3
由15天更換6次變為15天更換1 IPA<10ug/m ，如 圖25的右圖。
減少33.8%，如 圖26所示。
次，如 圖24所示。
依照導入結果計算半年的運轉費
ECP區更換環境濾網只針對環境採 用，如 表7 ，原使用三合一化學濾
樣點上方安裝三合一濾網，只有局 網方式，F12P4 ECP區環境濾網費
3
部區域IPA<10ug/m ，如 圖25的 用半年約花費NTD14.8M，若導入

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