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表 7、區域型 MAU 濾網箱效益 圖26、區域型MAU濾網箱效益

比較 區域 Filter type 6個月 每區(台) 濾網單價 小計
更換次數 濾網數量 (NTD) 16.0 2Y 3in1 Filter
Cylinder TOC
14.0
Before ECP天花板FFU 2Y 3in1 filter 60.0 18 12,969 14,006,520 12.0
濾網費用(單位：百萬元) 8.0 14.8 3.2
3in1 更換工資 60.0 18 750 810,000 10.0
合計 14,816,520
After ECP天花板FFU 2Y 3in1 filter 12.9 18 12,969 3,001,397 6.0

3in1 更換工資 12.9 18 750 173,571
4.0
區域型MAU濾網箱 Cylinder TOC 12.9 768 612 6,043,063 6.6
2.0
Cylinder更換工資 12.9 768 60 592,457
0 0.0
Before After
合計 9,810,489

ECP區內機台濾網更換頻繁。
圖27、高容量IPA Filter與Cylinder Type TOC Filter壽命比較
未來方向將朝向TOC濾網的再生及
10 開發更高容量的TOC濾網，濾網再
生部分在實驗階段以Cylinder Type
9
TOC Filter做實驗證明可行，更高
8
容量的TOC濾網在實驗階段亦有
7 6 初步進展，如 圖27所示，其濾網
Filter Outlet IPA(ug/m 3 ) 5 4 10days，將其應用於實務上可望
壽命比Cylinder Type TOC Filter多

再減少更換人力及濾網費用，外氣
IPA減量目前為廠區主要改善課題
3
之一，區域型MAU濾網箱導入的成
2 效顯著，不但能符合製程需求，並
雙層Cylinder
1 雙層Box IPA 減少運轉費用及廢棄物處理，達到
綠色製造及永續經營之目標。
0
0.0 2.0 4.0 6.0 8.0 10.0 12.0 14.0 16.0 18.0 20.0 22.0 24.0
濾網壽命 (days)

結論 將區域型MAU濾網箱組裝並導入
ECP區，有以下好處 :

– 更換濾網時於L 40層作業更安
參考文獻
ECP區域IPA主要來源為外氣，由 全，並大幅減低L35高風險區域
[1] 趙世閔、李懷宇、周家祿，微汙染防治-
於MAU TOC濾網效率差，IPA進入 作業風險。 十二廠六期電化學電鍍製程環境異丙醇
ECP區造成環境濾網更換頻繁，需 減量之應用與探討-廠務季刊22期，第
– 其降低風速增加滯留時間，提升 78-88頁。
設法提升MAU TOC濾網效率，避 [2] 黃蒨芸、康育豪AMC，控制技術-談化學
濾網吸附能力，增加MAU濾網壽 濾網。
免外氣IPA進入ECP區。文獻探討
命達15天。 [3] 李灝明，活性碳處理異味問題面面觀。
說明提升濾網吸附能力主要關鍵為 [4] M+W CCS-CD-6/6/16-GEX & CCF-
– 大幅降低環境濾網的更換頻率， CD-6/6/3 Life time test report.
滯留時間，在降低濾網風速及串聯
由15天更換6次變為15天更換1 [5] 劉鎮宗、陳志浩、黃香儒、蔡嘉松、林
濾網以增加IPA在濾網內的滯留時 妍希、張章堂，添著活性碳對甲苯吸附
次。 處理與等溫吸附特性之研究。
間，可提升濾網吸附能力。經過實
[6] 薛聖翰，利用熱重分析法探討含硫活性
驗設計並證實其可行性後，進一步 – 其效果涵蓋ECP全區，可避免 碳之氯化汞吸附及脫附研究。

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 47