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Tech
Notes
技術專文

The By-product

and Parameter of

Burning Type

Local

Scrubber

燃燒水洗式洗滌塔

操作參數與副產物探討

製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物 (PFCs) 僅能由現址式空氣處理
設備 (Local scrubber) 處理削減，而 Local scrubber 之操作參數與製
程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst Case」
進行參數設定，有能源浪費之虞；本研究以 FTIR 實測廠內正常生產
時 Local scrubber 削減效率，並以燃燒式為首要討論範疇，其操作溫
度高 (1200℃以上 ) 且機台數量多 ( 占比 26%)，實測發現生產時濃度
負載率小於 50%，進而衍生副產物及能源浪費等問題，未來將朝調
整 Local scrubber 運轉參數發展，並以相同研究方法推廣至其餘 Local 中科十五廠六期燃燒水洗式洗滌塔 攝影 / 陳昭文
scrubber 類型，達到削減效率達標又不對環境造成額外負擔。

關鍵詞／燃燒式、副產物、去除效率、現址式空氣處理設備、傅里葉轉換紅外光譜儀
Keywords/ Burning type, By-product, Destruction Efficiency (DRE), Local Scrubber, FTIR

文│范銘哲 王仁暉 楊孟堯│南科廠務三部│

前言

半導體產品相關製程複雜多樣，且製程中所使用之化學物質種類繁多，產生之廢氣依其特性可分為酸性、鹼
性、有機性及一般排氣。機台端之製程排氣一般會先由附屬之尾氣處理設備(Local scrubber, LSC)處理後，
再排放至中央廢氣處理系統。製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(Perfluorinated compounds, PFCs)僅能
由Local scrubber處理削減，如 圖1 ，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，參數如何
精準設定，才能使去除效率達標又不生成副產物汙染環境，顯然是一門值得深入探討的課題，其中燃燒式
Local scrubber操作溫度高(1200℃以上) 且機台數量多(占比28%)，如 圖2 ，為本文首要討論範疇。

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