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時(約大於40μm)如 圖2(d)。靜電力
圖3、平面式&模組化水力薄膜比較
的效應發生在帶有電荷的污染微粒
或吸收水滴上，如 圖2(e)。凝結發
平面式水力薄膜 模組化水力薄膜 生在氣體中的水氣溫度突然降至其
結露點(dew-point)，則污染微粒將
灑水頭 成為凝結核產生霧氣。溫度梯度會
帶動微粒由高溫區至低溫區。
灑水頭

改善方法

本計畫將以平面式水力薄膜為基
礎，設計出模組化水力薄膜，如 圖
3所示，改善平面式水力薄膜壓損
過大、安裝耗時等缺點。過程中嘗
試利用硬體設備改善來提高洗滌塔
圖4、新型水力薄膜去除原理 去除效率。其中模組化水力薄膜導
入新型多孔性除霧器，其內層之多
孔性纖維，預期能增加液氣接觸比
未裝設水力薄膜 裝設水力薄膜
表面積，並提升洗滌塔之無機酸鹼
微粒 灑水 拉西環 白煙 微粒 灑水 拉西環 水力 煙囪 去除效率。
煙囪 薄膜
此裝置能提升去除效率之原理是利
用氣體通過水膜或薄片狀之水霧
融合
中，使霧滴與水滴接觸而被去除，
融合
如 圖4所示。
目前各廠安裝現況及面對之問題點
如 表1所示，統整之後其面臨到的
問題不外乎為以下兩點，第一為
圖5、模組化濾網氣密加強安裝手法
濾材收邊固定方式不佳，導致風
壓突破產生洩漏，不透光率受水
臥式洗滌塔 立式洗滌塔 氣干擾。其改善方式為增加氣密
並增加濾材收邊固定強度，如 圖
增加氣密膠條 L型PP片 5所式，亦或者於增加新式模組化
PVC螺絲
框架與濾網以 除霧層，如 圖6所式。第二則是灑
silicone進行接合
濾網框架 水量不足，造成去除效率低落且容
易阻塞。其改善方式則為增加灑水
噴頭、提高灑水量並且調整灑水方
邊板 橡膠軟墊(黑色) 螺桿/螺帽
向，如 表2所式。

其應用於廠內立式與臥式濕式洗
滌塔上，安裝最佳位置則如 圖7所
圖6、模組化濾網氣密加強安裝手法 示，經硬體設備的改善後，探討其
洗滌塔無機酸鹼去除效率，則發現
去除效率有明顯上升的趨勢。
既有作法 新式模組化除霧

水力 水力 水力 水力 水力 水力 水力 水力 結果與分析
薄膜 薄膜 薄膜 薄膜 薄膜 薄膜 薄膜 薄膜

本計畫提供一項僅需將現有洗滌塔

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 79