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6.0 6.0 1 2 3 4
System : 2-PROPANOL - Sorbonorit 4 System : 2-PROPANOL - Sorbonorit 4
5.0 5.0
4.0 P = 10000 Pa 4.0
q av / ( mol kg -1 ) 3.0 T = 373 K q av / ( mol kg -1 ) 3.0 T = 323 K
T = 373 K
2.0 2.0
P = 1000 Pa
1.0 1.0
P = 1000 Pa
P = 10 Pa P = 100 Pa
0.0 0.0
0 400 800 1200 1600 2000 2400 0 400 800 1200 1600 2000 2400
t / s t / s
圖3、恆定壓力1000Pa，323K、373K溫度下， 圖4、恆定溫度373K下，各種壓力下異丙醇
異丙醇平均脫附量與時間關係 [5] 平均脫附量與時間的關係 [5]
Inlet
AIR 3ppm IPA Outlet
filter
氮氣
IPA
vacuum
heat chamber cold trap Mitap Inlet 分析儀 Mitap Oulet 分析儀
pump
圖5、再生實驗架構 圖6、效率驗證架構
之驗證採用濃度為3ppm的IPA，0.7m/s作為去除效率測試 為操作溫度時，溫度的波動及受熱的均勻度使濾網結構產
，允收標準訂為再生後初效 : ①IPA : >80% Eff. Or Outlet 生強度下降的副作用，因此實務應用應選用65℃在維持濾
<2 ppb；②Outgassing test : Outlet<Inlet。 網強度下去除效能也可達到約>77%。
此加熱再生程序為將實驗樣本，置於氣密加熱腔體中
，使用真空幫浦抽氣至0.05Torr，進行加熱再生，真空幫 表1、60℃
浦前端連接Cold trap降溫抽出空氣，如 圖5。 No. IPA測試濃度 濾網初效 一次再生初效(全新效率90%) Outgassing test
1 3.4ppm 51.80% 72.40% pass
驗證實驗架構為利用氮氣衝擊入液態IPA，再混合空氣
2 3.3ppm 51.20% 71.70% pass
吹入風道入口，利用空氣以及氮氣流量，控制吹入風道IPA 3 3.6ppm 52.00% 73.60% pass
濃度至3ppm，並控制總輸入風速為0.7m/s進行去除效濾
驗證，如 圖6。 表2、65℃
No. IPA測試濃度 濾網初效 一次再生初效(全新效率90%) Outgassing test
4. 結果與分析 1 3.2ppm 53.10% 77.90% pass
2 3.4ppm 48.40% 81.30% pass
3 3.0ppm 51.90% 79.30% pass
由實驗結果可得結論，如 表1 表2 表3 :
• 抽取式濾網使用負壓加熱再生法，在70℃再生6hr將可 表3、70℃
回復化學濾網對於異丙醇之去除效能回復至83%>驗收目 No. IPA測試濃度 濾網初效 一次再生初效(全新效率90%) Outgassing test
標(80%)。 1 3.4ppm 49.40% 83.10% pass
2 3.1ppm 50.50% 82.30% pass
• 濾網活性碳膠合層在75度即達軟化點，故實驗以70度作 3 3.5ppm 49.70% 81.70% pass
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