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Tech 7 8
Notes
技術專文
步驟1 : 選擇report查詢 步驟4 : 得知選擇時間內之機台機況
步驟2 : 選擇search report進入系統 步驟3 : 搜尋欲查詢機台區域、機台名稱，選擇欲查詢區間，點選Status History
圖5、SiView設備機台機況查詢步驟
(a) PH /BF using (b) PH /BF using
3 3 3 3
DIHI08
FMED1 DIMD12 DIMD11
DIHI14
BE500-2 採樣點
BIHC12 DIHI09 DIHI12
DIMD13 DIHI11
FHIE1 採樣點
BIHE02 FMED2
BIHE03 採樣點
DIMV03
採樣點
(c) BCl using (d) PH using
3
3
DDFNZ1
BASM1
採樣點
CEMEG1
採樣點 DDFNZ2
圖6、F3E FAB MD類污染源設備分佈。⒜Diff區；⒝IMP區；⒞MEMS區；⒟Etch區
11 12 13 14 15 16 17 18
21 22 23 24 25 26 27 28
31 32 33 34 35 36 37 38
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