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技術專文

2019年製程區 & XCDA IPA/Acetone Boxplot F14P6 BE-B.S IPA Boxplot
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6
10 安裝隔間牆
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0
IPA Acetone IPA Acetone IPA Acetone IPA Acetone IPA Acetone 0
竹科 南科一 中科 南科二 XCDA 2018 Q4 2019 Q1 2019 Q2 2019 Q3 2019 Q4 2020 Q1

圖11、2019年ECP&XCDA IPA/Acetone濃度圖 圖12、BE-B.S隔間安裝前後IPA濃度圖

表4、常見揮發性有機物亨利常數列表
Compound K(atm/mol/m ) Compound K(atm/mol/m )
3
3
Methanol 0.0000052 DMF 0.0000002
Ethanol 0.0000303 MEA 0.0000256
Iso-Propanol 0.000015 Ethyl Acetate 0.000128
Acetone 0.000025 Butyl Acetate 0.000164
MEK 0.00013 Toluene 0.0064201
Ethyl Acrylate 0.000254 m-Xylene 0.0074341

5. 結論

因應未來製程發展，AMC零汙染的目標未來將朝水洗/濾材變化/隔離阻絕進行。以乾淨水源帶走低汙染物已證實可有
效處理IPA/Acetone，但後續需再與水課合作安裝監測儀器以確保供應水質無二次汙染疑慮。純化器可提供<ppb的潔淨空
氣，但目前以高壓純化的作法，十分耗能且需設置大量高壓管路，在工廠管理端及安全方面仍有相當疑慮，未來建議以常
壓純化器方式加裝於空調處理端進行設計。在無塵室內的Segregation對於已定義高低汙染區的AMC控制有顯著的成效，
但仍需持續針對每一代製程確認無塵室的隔間是否有變更的需求。

參考文獻
[1] The removal of airborne molecular contamination in clean
-room using PTFE and chemical filters, Yeh, CF,Hsiao,
CW,Lin, SJ,Hsieh, CM,Kusumi, T,Aomi, H,Kaneko, H,Dai,
BT,Tsai, MS, 2004.
[2] SEMI F21-1102 classification of airborne molecular contami
nation levels in clean environmentals. Semiconductor
Equipment and Materials International. 2001.
[3] Organic Airborne Molecular Contamination in Semiconduc
tor Fabrication Clean Rooms, Walter Den,a,z Hsunling Bai,b
and Yuhao Kangb，2006.
[4] Airborne Molecular Contamination : Formation, Impact,
Measurement and Removal of Nitrous Acid (HNO2) Jürgen
M. Lobert, Reena Srivastava, and Frank Belanger – AMC
Business Unit, Entegris, Inc.
[5] John K. Higley and Michael A. Joffe,〝Airborne Molecular C
ontamination : Cleanroom Control Strategies〞,Solid State
Technology, pp. 211, July 1996.
[6] 王家瑩，化學洗滌法處理煤焦油使用程序排氣之研究，國立中山
大學環境工程研究所論文，2009。
[7] Robert H. Perry and Don W. Green〝Perry's Chemical
Engineers' Handbook〞,McGraw-Hill, 7th ed., 1997.
[8] 白曛綾、陳建志，酸鹼性氣體洗滌塔操作績效自我評估管理制度
手冊，2003。
[9] 張百成，以填充式濕式洗滌塔之觸媒液吸收揮發性有機物效率研
究，國立聯合大學環境工程研究所論文，2011。

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