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圖9、F14P6 ECP/BE-B.S隔間牆實驗計畫圖
4. 結果與分析
本次三個實驗主要結論於下 :
• DI水(IPA/Acetone<ppb)經過MAU Airwasher後對空氣中低濃度IPA/Acetone有明顯的去除能力，從 圖10得知IPA 去除
效率約為70%，可持續5hrs，Acetone去除效率約為40%，可持續4hrs，符合Acetone亨利常數>IPA的物理性質，如 表4
所示。除此之外，從實驗數據可發現Acetone在過飽和的狀態下也較容易揮發至汽態，故針對水洗裝置的應用，建議為了
達到AMC零污染的目標，應嚴格控制洗滌水水中的IPA/Acetone至ppb level，以達到最佳的汙染控制。
• 分析2019年竹中南科各廠最乾淨區域ECP中的IPA/Acetone數據，如 圖11所示，可發現其IPA/Acetone平均值皆落在<5
ug/m3以下，再對比xCDA的數據可發現，xCDA可提供IPA/Acetone<1ug/m3的空氣，已超出儀器可偵測範圍，故可推論
未來可朝此方向進行AMC潔淨空氣的提供。
• 實驗三於BE-B.S增加隔間牆前後進行比較，由於AMC有季節影響可能性，故對比安裝後兩季(Q4&Q1)與去年同期兩季數
據較有代表性，從 圖12可發現Q4 IPA最大值及平均值約降低50%，證實安裝隔間牆後IPA有效被隔離於Cu CMP來源區。
Fab MAU IPA/Acetone test data
2.0
1.5
ug/m3 1.0
0.5
0.0
17:58 18:28 18:58 19:28 19:58 20:28 20:58 21:28 21:58 22:28 22:58 23:29 23:59 00:29 00:59 01:29 01:59
IPA OUT IPA IN Acetone OUT Acetone IN
圖10、Fab MAU DI水洗對IPA/Acetone去除效果
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