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央供應化學物料；其二為人為瓶酸替換。故在機台使用化 步驟1 : 選擇單位用量日報 5 6 7 8
學品查詢上，將以此二方向去查詢，近而可明確得知各機
台使用的化學品清單，亦可明確得知污染源設備清單。
• 對於中央chemical供應系統，目前已有bluebook系統可
查詢。系統操作步驟如下：①下拉式選單選定廠區 ②選擇
utility to Tool點選欲查詢之種類 ③按下搜尋後即可查詢設
備編號、設備單位、化學品種類等資訊，如 圖3所示。
步驟1 : 下拉式選單選定廠區
步驟2 : 顯示瓶酸領用時間/種類/領用人/用量等資訊
步驟2 : 點選欲查詢之種類
圖4、小瓶酸系統使用設備清單查詢步驟
異常案例常與設備T/S(trouble shooting)或PM(Preventive
maintenance)後未恢復原始狀態有關，故在機況查詢上亦
步驟3 : 按下搜尋資訊
須考量。系統操作步驟如下 : ①進入系統選擇report ②選
擇search report進入系統查詢 ③搜尋欲查詢機台區域及名
稱，選擇欲查詢時間，點選Status History ④得知選擇時間
內之機台機況，如 圖5所示。
4. 結果與分析
在尚未將資訊平台整合時，可用區域自檢方式圈選出
查詢設備編號、設備單位、化學品種類等資訊
高污染設備。以F3E FAB，MD類採樣點為例，使用化學品
供應狀態平台系統，確認各區域內污染源設備，其主要污
染源設備使用化學品為PH3/BF3/BCl3，如 圖6所示；針對
小瓶酸系統及設備機況狀態系統，做設備狀態點警報機制
；當設備狀態轉為PM狀態時，或是設備小瓶酸領用時，可
圖3、Bluebook設備化學品使用設備清單查詢步驟
自動發送簡訊至值班手機，值班人員收到警報後可立即至
現場確認設備使用狀態，避免異常使用造成大範圍污染情
• 瓶酸領料系統已有平台可查詢。系統操作步驟如下：①
況，如 圖7所示。
選用單位用量日報 ②顯示瓶酸領用時間/種類/領用人/用量
設備資訊系統平台整合可分三步驟執行。首先需將各
等資訊，如 圖4所示。
平台權限開啟，使資訊平台內datasheet資料能做傳輸動作
3.2. 設備機況狀態查詢 ；data由資訊平台傳送中央電腦後，接著中央電腦將得到
的資訊過濾(篩選所需資訊，如PM狀態、領料紀錄等)，接
設備機況掌握是AMC防治相當重要的因子，許多AMC 著將資訊顯示於查詢平台介面，使用者能依時間/區域等選
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