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中央server 7 8 9 10
AMC污染源即時顯示
資訊平台datasheet
機台: XXXX
Section System Tag Name Tool Status 使用化學品: NH3 ; HCl
CALLOUT 3EMEAMC AHMV05-PM AHMV05 PM data傳輸 資料篩選 PM時間: 01/10 15:00~17:00
CALLOUT 3EMEAMC BIHE02-PM BIHE02 PM 小瓶酸領用: 01/10 12:00
CALLOUT 3EMEAMC BIHE03-PM BIHE03 PM
CALLOUT 3EMEAMC CDFNK6-PM CDFNK6 PM

圖7、資訊平台整合概念

項找出交集度高的設備群，並可針對此高風險設備群立即 參考文獻
做檢視查漏，如 圖7所示。如設備資訊平台整合數越多， [1] The removal of airborne molecular contamination in clean
將越能找到變異性設備清單，對於AMC防治而言會是一大 -room using PTFE and chemical filters, Yeh, CF,Hsiao,
CW,Lin, SJ,Hsieh, CM,Kusumi, T,Aomi, H,Kaneko, H,Dai,
利器，如 圖8所示。 BT,Tsai, MS, 2004.
[2] SEMI F21-1102 classification of airborne molecular contami
nation levels in clean environmentals. Semiconductor
(1)資訊平台 Equipment and Materials International. 2001.
[3] Organic Airborne Molecular Contamination in Semiconduc
tor Fabrication Clean Rooms, Walter Den,a,z Hsunling Bai,b
and Yuhao Kangb，2006.
(2)資訊平台 (N..)資訊平台
[4] Airborne Molecular Contamination : Formation, Impact,
高風險設備 Measurement and Removal of Nitrous Acid (HNO2) Jürgen
M. Lobert, Reena Srivastava, and Frank Belanger – AMC
Business Unit, Entegris, Inc.
(3)資訊平台 (5)資訊平台 [5] John K. Higley and Michael A. Joffe,〝Airborne Molecular C
ontamination : Cleanroom Control Strategies〞,Solid State
Technology, pp. 211, July 1996.
(4)資訊平台
圖8、整合多套設備資訊系統平台，交集得到高風險設備清單

5. 結論

現行設備資訊查詢平台已各自發展齊全，但尚缺平台
整合概念，導致AMC異常事件發生時，需至各系統查詢機
台資訊，費時費力且需靠人為逐一確認；如能將設備資訊
整合，以區域作分類，直接顯示區域內設備變異機台，將
高污染源、異常機況等資訊交集出高風險設備清單，將有
效降低AMC Trouble shooting時間，對於AMC防治會是快
速、通用、準確性的平台整合概念，如 圖6所示。

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