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                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              13

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        14





                                                                                                                11


                                                                                                                                          22

                     ECP/B.S區IPA來源約30%由無塵室內部來源，例如CMP區Tool IPA洩漏及相鄰區域設備使用IPA保養若AMC防護不良                           21 1                      2 12                                                                                                                                                                                                                               23                         24
                 ，都可能透過以下路徑影響至ECP/B.S.區 : ①ECP/B.S.區無塵室相鄰隔間自動門及AMHS軌道開口 ②ECP/B.S.區Ceiling/-
                 Fab/Sub-Fab許多風管和電力Tray穿越庫板牆及Divider的開孔氣密等問題，另外天花板FFU上方環境微負壓(相對非無塵區)
                 ，對外的牆所有的開孔若氣密不良，亦有可能吸入外氣IPA。
                 2.  文獻探討
                                                                               [1]
                     「微汙染防治-十二廠六期電化學電鍍製程環境異丙醇減量之應用與探討」 一文提出，藉由揮發性有機物(VOCs)處理
                 設備氣密改善及酸性氣體處理設備(SEX)提升換水率進而降低外氣IPA汙染源，並改善ECP環境隔間氣密及流場，如 圖7所
                 示，搭配新型IPA濾網之應用，可有效降低ECP環境內IPA濃度。



































































                                                     圖7、ECP環境隔間氣密及流場改善




                                                                                           FACILITY JOURNAL          09  2020  31         32                                                                                                                                                                                                                                 33                         34











































































































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