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                     TOC化學濾網的吸附劑主要為活性碳 ，劉鎮宗等人文獻回顧說明活性碳脫附機制 :                                                   23                         24                                                                                                                                                                                                                                 25                         6 16
                                                  [4]
                     活性碳吸附反應的逆反應即脫附反應，其質傳步驟如下 :
                 •  吸附物從吸附劑表面脫附釋出。
                 •  脫附物藉孔隙擴散，從吸附劑微孔隙中傳送到吸附劑外表面。
                 •  脫附物經質量傳送，從吸附劑外表面後進入氣相狀態。
                     常用的活性碳脫附再生技術包含熱處理(Thermal Treatment)、化學處理(Chemical Treatment)、溶劑萃取(Solvent
                 Extraction)、生物再生(Bio-regeneration)及超音波再生(Ultrasound Regeneration)等。熱處理是最常用的再生程序，此法
                 係以高溫蒸氣導入活性碳吸附床，吸附質自活性碳表面脫附並隨蒸氣攜出。
                     活性碳熱脫附再生之反應過程，熱脫附溫度100~260℃，為揮發性化合物之脫附，如 表1所示。
                                                     表1、活性碳熱脫附再生之反應過程

                  再生階段                   反應溫度(°C)                  反應過程
                  乾燥                     室溫-100                    水分之蒸發
                  熱脫附                    100-260                   揮發性化合物之脫附
                  熱裂解與碳化                 200-650                   非揮發化合物之熱裂解和碳化
                  氣化                     650-850                   熱裂解殘餘物與水蒸氣、二氧化碳或氧進行化學反應而氣化



                  3.  研究方法

                     參考文獻 改善L30 ECP環境隔間氣密及流場，本文將全面根據氣流所經路徑如 L40/L35/L30/L20層，進行氣密檢查
                            [1]
                  及補強，避免其他區有破口影響ECP/B.S區，軌道開口縮減至空中走行式搬運車(Overhead Hoist Transfer, OHT)可通過的
                  大小，盡可能降低OHT帶入的污染，如 圖11所示，並調整ECP/B.S.區MA風量高於CMP/BE ETCH區，使ECP/B.S.區室壓高
                  於其他區。






























                                                   圖11、L40/L35/L30/L20層氣密檢查及補強


                            [2]
                     參考文獻 一文機台四周孔洞地板數量安裝為滿佈時有助於流場的穩定性，ECP/B.S.區所有高架地板洞板覆蓋率85%
                  提高至100%。
                     參考文獻 一文提及區域型濾網箱，本文延續使用區域型濾網箱，針對ECP/B.S.區需求區域的MA風管上串聯濾網箱，
                            [3]
                  如 圖12所示，可避免TOC濾網安裝在MAU 70%的資源損失。



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