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Tech 23 24
Notes
技術專文
「無塵室高架式地板通風對室內流場的影響」 一文提出機台上方FFU與機台四周孔洞地板數量安裝為滿佈時有助於
[2]
流場的穩定性，如 圖8所示，若FFU無法滿佈時也盡量以對稱的編排方式安裝。

圖8、高架地板分佈及流場差異

[3]
「談異丙醇化學濾網使用效率提升之研究」 一文提出改善增加TOC化學濾網壽命的對策，改變濾網風速2.5m/s÷
0.5m/s、使用高容量TOC化學濾網及串聯濾網(1道÷2道)等改善，如 圖9，開發出區域型濾網箱，安裝於ECP區MA風管上
，可有效過濾外氣IPA長達15天(IPA<8ug/m @Inlet 25ug/m )，環境濾網更換次數在15天內由6次降低為1次，如 圖10。
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圖9、降低風速及增加濾網道數，可延長濾網壽命

圖10、區域型濾網箱導入後ECP區濾網更換次數6次÷1次

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