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針對外部及內部IPA污染提出解法，將計畫方法列舉如下 : 25 6 27 8 18
• 隔間氣密檢查及管理機制 : 將ECP/B.S區Ceiling/Fab/Sub-Fab進行氣密檢查改善，避免ECP/B.S.區域受其他區污染，並
排定定期檢查機制。
• 高架地板洞板覆蓋率100% : 提高ECP/B.S區高架地板洞洞板覆蓋率85%÷100%。
• 正壓管控/壓差/Door Alarm管理 : 將ECP/B.S區Fab/Sub-Fab層調整對相鄰區域相對正壓管控，調大ECP/B.S區MA風門
開度100%，調降相鄰CMP/BE ETCH區MA風門開度<50%，AMHS軌道開口縮減。
• ECP/B.S.區需求區域的MA風管上串聯濾網箱，使用高容量TOC再生型濾網。
4. 結果與分析
4.1. 隔間氣密強化
檢查發現Ceiling/Fab/Sub-Fab隔間及Divider風管/管路/Tray穿牆後有些氣密不完整，再修補氣密後，避免ECP/B.S.區
受其他區影響。AMHS軌道開口縮小，如 圖15。
圖15、氣密補強及軌道縮口
4.2. 高架地板洞板覆蓋率100%
提高ECP/B.S區高架地板洞洞板覆蓋率85%提升至100%，如 圖16。
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