Page 28 - Vol.39
P. 28
3
2
4
6
5
7
1
15
16
13
12
14
11
Tech 17 8 18
Notes
技術專文
FAC濃度圖納入指標 Module異常狀態分析
Plan Study
Plan Study
Do Action
Module自主巡檢 Module管理措施
圖13、Module成立專案管理
4.6. 未來系統發展與改善
目前的AMC污染監控模式，為取樣管路佈點方式，皆為固定偵測方式，無法於無塵室內隨處移動監控，實際數據不
足處仍需人員協助巡檢點的量測。未來的AMC污染監控模式，將AMC監測儀器裝載至自動導向車AGV結合IOT無線傳輸系
統，可於無塵室內隨處移動監控，具有自動巡檢及智慧監控等功能。隨著量測點的增加，可將濃度分布地圖更臻於完善
另外，在網頁輸出功能部份，將增加下列三項功能，如 圖14所示 :
• 檢附環境AMC Spec : 可輸入無塵室各區環境OOC/OOS Spec，解決FAB內各區定義Spec不同問題。
• 提供外氣環境品質 : 增設外氣(MAU無塵室供應端)AMC濃度燈號，讓外氣狀態一目了然。
• 異常區域紫爆呈現 : AMC異常事件發生時，將該區紫爆呈現，並結合實驗室Mail發送功能，將外氣AMC濃度燈號與無
塵室內濃度分布圖同時寄送，可直接辨別供應端狀態是否正常。
5. 結論
有別於傳統濃度曲線圖表示方式，AMC濃度分布圖採用2D多色澤的視覺化效果，將同種物質濃度以顏色分層方式能
讓人快速辨別差異，清楚呈現無塵室內部各區域的AMC濃度狀態。當污染物發生的同時，可快速掌握污染區域，針對該
區的污染源清查及減量，提高管理決策之優先性，防止污染區域擴大。此外，濃度分布圖除了用於AMC呈現外，也可用
於溫溼度/PA檢測等圖面效果呈現。
既有的AMC管理模式，屬於被動處理且單方面查漏運作方式，當無塵區異常濃度觸發警報時，需由人員點擊各區資
料庫的濃度曲線，局部了解該區污染狀態後，由FAC單方面搜尋污染源及後續相關改善措施；透過AMC視覺化管理模式，
採取主動預防且雙方面查漏運作方式，藉由廠區每日濃布圖Mail發送提醒，可全覽無塵室全區狀態，當無塵區濃度偏高時
，由Module及FAC人員共同協助漏源改善及預防措施。
21 22 23 24 25 26 27 28
31 32 33 34 35 36 37 38
41 42 43 44 45 46 47 48
