8 2 3 7 4 9 6 10 1 5 17 20 19 18 16 12 11 13 15 14 Tech Notes 技術專文 域,無形中產生了資源浪費等問題。 圖4、季節風向與MAU進氣口IPA濃度關係 圖5、MAU及ECP/B.S.環境IPA趨勢圖 圖6、因ECP需求更換MAU TOC濾網 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50