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ECP/B.S.區IPA主要來源為外氣空調箱(Make-up Air Unit，MAU)引入，污染源來自於本身或鄰近廠區煙囪排放(約佔 19 20
70%)，其次為化學研磨製程(CMP)機台洩漏或蝕刻機台保養使用IPA擦拭，經由自動化搬運系統夾帶氣流或自動門開啟引
入至ECP/B.S.區環境(約占30%)，如 圖2所示，ECP/B.S.區域IPA來源示意。
圖2、ECP/B.S.區環境IPA來源
廠務無塵室空調系統常見的配置有MAU及FFU(Fan Filter Unit)循環系統，為了維持無塵室內AMC品質，會在MAU箱
體內安裝化學濾網以過濾外氣AMC及無塵室天花板FFU上方安裝三合一化學濾網維持無塵室內AMC品質，如 圖3所示的A
及B點位置。
圖3、化學濾網安裝位置
ECP/B.S區IPA來源約70%由MAU引入，當夏季西南風及靜風時煙囪排放IPA將影響MAU進氣口，冬季東北風時MAU進
氣口不受影響，如 圖4所示為MAU進氣口的IPA濃度與鄰近煙囪排放及季節風向模擬結果。
當MAU IPA高時，將使ECP/B.S.區環境IPA濃度上升，環境濾網更換頻率上升。反之，當MAU IPA低時，ECP/B.S.區環
境濾網更換頻率減緩，如 圖5所示為MAU及ECP/B.S.區環境IPA趨勢圖。
MAU供風量設計140,000CMH，ECP/B.S.區需求約42,000CMH，所以MAU有大部分的風量是供應至其他區域，為了
降低ECP/B.S. MA的IPA而更換MAU TOC濾網，如 圖6所示為點1位置，但MAU有70%的MA風量是供應至其他無需求的區
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